第5章 数字与现代检测装置幻灯片.ppt

5.1 角度数字编码器 与光纤耦合的电光与光电转换器件 实现电光转换的元件通常是发光二极管或激光二极管。 5、光纤传感器的测量原理和分类 光纤传感器原理实际上是研究光在调制区内，外界信号（温度、压力、应变、位移、 振动、电场等）与光的相互作用，即研究光被外界参数的调制原理。 外界信号可能引起光的强度、 波长、频率、相位、偏振态等光学性质的变化，从而形成不同的调制。  光纤传感器一般分为两大类：一类是利用光纤本身的某种敏感特性或功能制成的传感器，称为功能型（Functional Fiber， 缩写为FF）传感器，又称为传感型传感器；另一类是光纤仅仅起传输光的作用，它在光纤端面或中间加装其它敏感元件感受被测量的变化，这类传感器称为非功能型（Non Functional Fiber， 缩写为NFF）传感器，又称为传光型传感器。 （a） 传感型； （b） 传光型 光的电矢量E 被测量调制： 光的强度E0、偏振态（ E0矢量的方向）、频率ω 相位(ωt+φ)、波长λ。 光的强度调制、偏振调制、频率调制或相位调制 型光纤传感器。 激光束通过分光板后分为两束光, 透射光作为参考光束, 反射光作为测量光束。当传感器感受压力（温度）时, 使光纤长度变化（拉伸）, 引起光程差的改变。相位改变的激光束由单模光纤射出后与参考光束会合产生干涉效应。激光干涉仪的干涉条纹的移动可由光电接收装置转换为电信号,(光电探测器置于汇合处） 经过处理电路处理后便可正确地测出压力（温度）。 （1） 光纤压力（温度）传感器(相位调制型) 6、 光纤传感器的应用 5-45光纤压力（温度）传感器 相位调制型 相位调制型 光波通过长度为L的光纤后,出射光波相位延迟 通过光波的干涉技术,把相位变化转换为光强变化 测出相位变化,对外界物理量检测。 由于光纤长度的变化，引起光束光程差的变化 两束光经干涉仪产生相干条纹，相干条纹移过的数目与相位差成正比。一般用光电探测器计下干涉条纹移过的数目，经处理电路可算出相位差，即而算出压力。 由于光纤感受温度变化时，光纤的折射率发生变化，而且因光的热胀冷缩使长度变化。使光纤的光程差及相位变化。可测温度和压力。 图5-46 光纤微弯对传播光的影响 2、光纤微弯曲位移和压力传感器（光强调制型） 当光线射入微弯曲段时，入射角小于临界角。此时，除反射光外，一部分光透射进入包层。导致光能的损耗。输出光强度减小。 位移压力 活动板 光纤 固定板 图5-47光纤微弯曲传感器 （3）光纤位移传感器（非功能型） 组成：LED光源、Y型多模光纤、光电二极管。 工作过程： 光从光源耦合到照明光纤，射向被测对象，再被反射回接收光纤，有检测器接收。接收的光强随物体距光纤端面的距离不同而变化。距离越近，接收光强越强；距离越远，散射光越多，接收光强越弱。 微位移测量。 光源 检测器 照明光纤 接收光纤 被测对象 探头 图5-49 光纤位移传感器 （4） 光纤旋涡流量传感器 光纤旋涡流量传感器是将一根多模光纤垂直地装入管道， 当液体或气体流经与其垂直的光纤时，光纤受到流体涡流的作用而振动，振动的频率与流速有关。测出频率就可知流速。这种流量传感器结构示意图如图所示。 当流体运动受到一个垂直于流动方向的非流线体阻碍时， 根据流体力学原理，在某些条件下，在非流线体的下游两侧产生有规则的旋涡，其旋涡的频率 f与流体的流速可表示为 式中： v——流体流速；  d——流体中物体的横向尺寸大小；  St——斯特罗哈尔（Strouhal）系数，它是一个无量纲的常数，仅与雷诺数有关。 在多模光纤中，光以多种模式进行传输，在光纤的输出端， 各模式的光就形成了干涉图样，这就是光斑。一根没有外界扰动的光纤所产生的干涉图样是稳定的， 当光纤受到外界扰动时， 干涉图样的明暗相间的斑纹或斑点发生移动。如果外界扰动是流体的涡流引起的，那么干涉图样斑纹或斑点就会随着振动的周期变化来回移动， 这时测出斑纹或斑点的移动，即可获得对应于振动频率f的信号， 根据公式推算流体的流速v。 这种流体传感器可测量液体和气体的流量，因为传感器没有活动部件，测量可靠，而且对流体流动不产生阻碍作用，因此压力损耗非常小。这些特点是孔板、涡轮等许多传统流量计所无法比拟的。 5-50 电磁波谱图 有信号电荷的势阱 当MOS电容器栅压大于开启电压UG，周围电子迅速地聚集到电极下的半导体表面处，形成对于电子的势阱。 势阱：深耗尽条件下的表面势。 势阱填满：电子在半导体表面堆积后使平面势