接触式机台检测技术与原理rev.02讲解.ppt

座標測量機簡介 工業界因為製造的需求，各種量具不斷推陳出新，一般量具依其能測量的維數分為三類： 一次元量具：只能作直線式長度的量測，例如鋼尺、游標卡尺、分離卡等。 二次元量具：能作X、Y兩維方向的測量，例如光學投影機、工具顯微鏡等。 三次元量具：能作X、Y、Z三維方向的量測，例如三次元座標測量儀(CMM)。 CMM簡介 三次元座標量測儀(Coordinate Measuring Machine, CMM)是指在一個六面體的空間範圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等量測能力的儀器。 三次元量測儀可以定義為“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動。”因此CMM是由X、Y、Z各軸互相垂直配置，並在各軸配置精密光學尺及讀取檢出器，以便在三度空間內的任何謂製作測量工作。 三次元量測儀的量測原理 先將工件固定在工作台上，測量機的測頭沿著工件之X、Y、Z軸向移動，由各軸項之刻度尺，即可獲取測頭作動的測量值。若應用精密光學尺作為各軸的標準尺，並附有數據處理裝置，則工件測量就成為自動化，而且更為合理精準。 三次元量測儀種類 三次元量測儀依測軸驅動方式分類 手動式三次元量測儀 操作者用手握住主軸使其沿著x、y、z軸移動。量測時須注意探頭與工件間量測壓力、及探頭移動因加速度所造成軸彎曲導致量測誤差。 馬達驅動式三次元量測儀 馬達驅動CMM一般可由搖桿控制。它具有高量測精度、容易操作、且提供教導式量測等優點。 CNC 式三次元量測儀 可以自動依照電腦所預先設定的程式執行量測。人工智慧專家系統相結合與如何走最短的路徑，該測量哪些點才能得到所要求的精度。 CMM校正 CMM位移精準度誤差可分為兩種： 系統誤差：為本身之誤差。 隨機誤差：通常因測物環境、潤滑、熱變形等產生誤差。 利用體積誤差，可以對座標測量儀的精度作一有效量化的比較。體積誤差(在X、Y、Z處) = 線性誤差 + (偏角誤差位移) + (垂直性誤差位移) 。 接觸式測頭與探針 接觸式測頭的種類 接觸式測頭可分為硬測頭和軟測頭兩類 硬測頭多為機械式測頭，主要用於手動測量。但其缺點為測量力過大時引起測頭及被測物的變形，若測量力過小又不能確定測頭是否與被測物有可靠接觸，測量力的變化會使瞄準精度下降。 軟測頭與被測物接觸後，測頭會做偏移，傳感器進而輸出關開信號或模擬信號，因碰觸到被測物後會發出訊號所以又稱為觸發式測頭。 CMM接觸式 vs QV-Pro影像式的比較 CMM接觸式的優勢 量測路徑可以事先在CAD圖面上進行規劃並模擬動作，透過DMIS格式輸出至CNC式三次元量測儀使用。可簡化量測程式編寫的複雜性與減少撰寫時間。 透過不同的探針可量測複雜幾何輪廓的工件。量測可適用性大。 接觸式機台的缺點 因應不同材質需更換不同探針，且更換不同探針須重新設定參考原點。 測量力過大時引起測頭及被測物的變形對量測工件產生作用力，須有夾具固定。 對Z軸方向量測敏感性低。 探針因量測發生摩擦與撞擊，需更換與定時保養。 相對於QV-pro 影像式儀，CMM接觸式量測時間過長。 QV-Pro影像式與CMM接觸式的差異 量測差異 看的到就量的到?影像式 碰的到就量的到?接觸式 不同量測儀的量測差異 Case 1 不同量測儀的量測差異 Case 2 Socket 是否可用接觸式機台量測 正位度無法量測: 接觸式探針會對測物產生側力與破壞，端子與錫球正位度量測無法量測。 QV影像式有專門工具可直接算出錫球與端子中心；接觸式需取三點才可算出錫球與端子中心，接觸式花費時間過長。 Core 孔Pitch過小，最小探針球徑0.3mm，容易撞針。 Gap H高度差： 端子與錫球皆有彈性，且探針量測高度會產生向下力量，端子與錫球高度量測會有誤差。 廠內無法導入接觸式量測於Socket產品。 結論與建議 接觸式不適合導入量測廠內生產的Socket ，因為QV影像式優於接觸式量測。對於複雜結構的鐵件如ILM上鐵片，三次元接觸式機台卻優於QV影像式量測。 沒有任一量測機台是萬能，都有量測機台本身的限制，應依照不同樣品的外型與特性，採用不同的量測機台。 各種元件量測法 * Confidential Page:* * Confidential Page:* 接觸式檢測技術與原理 Rev.02 Prepared: Damon Tai Reviewed: Michael Liu 接觸式 非接觸式 三次元量測儀 機械式 電氣式 觸發式探頭 掃描式探頭 中心投影器 中心顯微鏡 測頭(探頭) 探針 硬式測頭 觸發式測頭 觸發式測頭基本結構 觸發方式 觸發式測頭無論在任何位置及方向，只要其探針偏離原來的中心位置至某一程度時(發生短路)，立刻會產生一個檢測信號。 短路 正常 測頭附件 為了方便量測零件各個部份，擴大測頭的功能，提高