第一章薄膜制备的真空技术基础题库.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * （8）真空泵简介- 低温吸附泵 利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝＋吸附，使被抽空间的压力大大降低，从而获得并维持真空状态的抽气装置。低温泵抽气是一种储存式捕集排气，它所抽走的气体不是直接排到泵外，而是储留在泵内，一旦冷凝表面温度发生变化，它所抽走的气体又重新放出，而破坏泵的正常工作。 泵停止工作后，关闭高真空隔离阀，可以保持真空度不变。制冷剂不再产生冷量，冷头逐渐恢复常温。这时，冻结在冷板上的可凝性气体将蒸发，被活性炭吸附的非可凝性气体将解吸，它们都跑到气相中去，从而形成较高的压力。为安全及排出这些气体，在泵壳上设有再生抽气排出口，泵工作时，它用密封塞塞住。当停机时，泵壳内压力升高，通过内外压力差将密封塞顶开，壳内气体自动排放到大气。 （9）真空泵简介- 溅射离子泵 工作原理： 依靠高压阴极发射出的高速电子与残余气体分子相互碰撞后引起气体电离放电，而电离后的气体分子在高速撞击阴极时又会溅射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很高，因而它将以吸附或化学反应的形式捕获大量的气体分子并在泵体内沉积下来，实现超高真空的获得。 工作参