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静电防护管理规范最新版.
文件修订履历 版次 V0 V1 V1.1 V1.2 V1.3 V2 V2.1 V2.2 V2.3 V2.4 V2.5 V2.6 V3.0 部门 CS部 有√ √ 份数 1
1 目的
防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命;使ESD防护工作具有较强的可操作性。
2 适用范围
从静电敏感器件进货到产品形成的全过程
3 定义
3.1静电放电(ESD)
处于不同电位的两个物体之间,由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。
3.2静电敏感器件(ESDS)
在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。
3.3静电的发生及带电
3.3.1静电的定义:物质是由分子组成,分子是由原子组成,原子是构成一切化学元素的最小微粒,
由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下,原子所带的正负电荷相等,所以对外表现出电中性。但是在某种条件下,当物质原子中的这种电平衡状态被打破,丢失或获得电子,物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子,则表现为带正电;获得电子,则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷,称之为静电。
3.3.2静电的产生:静电的产生有多种,这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电;其它如:粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。
3.3.2.1接触起电:当两种物质接触时,其间距小于2.5×10-8cm 时在其间即发生电子的转移,界面两侧出现大小相等,符号相反的两种电荷
3.3.2.2感应起电:它是导体在外部静电场作用下,在不同部位表面感应出不同符号的电荷
3.3.2.3剥离起电:两个接触非常紧密的物质,在外力作用下突然分开,由于剥离的原因使物体带电
3.3.2.4摩擦起电:由于摩擦生热,热使离子(电子)的活性增加,容易向其他物体转移
3.3.3静电的危害
3.3.3.1对人体产生电击:带了电的人体接近接地体时,会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时,带电物体对人体放电而引起的电击。
3.3.3.2对电子组件的损坏:对组件的损坏大体可分为两种失效模式:一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁,产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏,永久失效;二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效,导致其可靠性下降。
3.4绝缘体与导体
3.4.1绝缘体
绝缘体具有大表面电阻率,一般大于或等于1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地,物体仍处于带电状态。
如:普通塑料制品、乙烯等
3.4.2导静电体
导体一般表面电阻率≥102 Ω和<105Ω范围,电荷具有良好的流动性,进行接地电荷会大量流向大地,造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。
3.5防静电材料定义
3.5.1根据防静电材料的导电性能,可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。
静电绝缘材料:表面电阻率≥1011Ω;
静电耗散材料:表面电阻率≥105Ω和<1011Ω;
静电导电材料:表面电阻率≥102Ω和<105Ω;
静电屏蔽材料:表面电阻率<102Ω;
3.5.2 ESD防护项目的表面电阻的要求
工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为104 — 1010Ω;
包装材料(如:胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等)的表面电阻为:105≤R<1011Ω。
3.6静电发生源
3.6.1 人:人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。
3.6.2 环境:地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。
3.6.3 材料:生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。
表1 常见物体的静电发生序列
序号 材料 序号 材料 1 空气 12 棉布 2 人手 13 钢 3 兔毛 14 木材 4 玻璃 15 琥珀 5 云母 16 硬橡胶 6 头发 17 镍、铜 7 尼龙 18 黄铜、银 8 羊毛 19 聚脂人造纤维 9 丝绸 20 聚乙烯 10 铝 21 聚丙烯 11 纸 22 聚氯乙烯
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