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MSE微喷浆冲蚀法
MSE微粒喷浆冲蚀法 基本原理
MSE微粒喷浆冲蚀法是指压缩空气与浆料(水和固体粒子的混合物)在喷嘴中混合后,最终高速喷射到样品表面,产生相应的冲蚀痕迹。可快速评估各种涂层/材料表面性能,特别适合于目前难以测量的涂层。恒定的压缩空气与浆料对材料表面进行冲蚀,材料磨损量随表面强度而变化。再将磨损量的变化转换成磨损率,以此来评估和对比各种材料表面强度,是世界最新的材料评估方法,特别适用于超硬、超软、透明、超软、复合涂层等。
涂层/材料综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)
发展背景
现今测量物体表面涂层、镀层、镀膜的膜强度或膜厚度的主要测量方法有:压痕试验、拉伸试验、弯曲试验、摩擦磨损试验。这些测量涂层、镀层、镀膜的方法均存在局限性,不能很好地评价纳米级涂层及超硬、超薄、透明、超软、复合涂层等材料。
MSE微粒喷浆冲蚀法是世界最先进的材料/涂层测量的评估方法,恒定的压缩空气与浆料持续对材料表面进行冲蚀,材料磨损量随表面强度而变化。再通过试验机将磨损量的变化转换成磨损率,以此来评估和对比各种材料表面强度。适用于所有涂层、镀层、镀膜,可很好地评估超硬、超软、透明、超薄、复合涂层等,填补了现在各种试验机不能评估硬质涂层的空白。
领先技术
摩擦表面的镀膜技术和品质管理(如切削工具、滑动表面镀膜的评价)
超硬镀膜的技术和品质管理(如DLC、CVD钻石的评价)
透明薄膜的技术和品质管理(如液晶膜的评价)、
光学功能膜的评价
塑料上的硬质薄膜的技术和品质管理(如触摸屏、眼镜镜片的评价)
切削和研磨工具研发领域/液晶LED研发领域/半导体研发领域/燃料、太阳电池的研发/汽车、飞机、火箭等坚硬材料和耐高温材料的研发
试验仪器
日本涂层/材料综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)——超硬、超薄、透明、超软、复合涂层的最新评估方法,适用所有涂层、镀层、镀膜。
可用于评估光学涂层、DLC、汽车零部件、滑动表面、液晶膜、CVD/金刚石、切削工具等。
可用于评价:涂层强度数值话、表面至基体的强度变化、涂层与涂层/涂层与基体的结合力、评价镀膜工艺、评价涂层的均匀度。
性能特点
涂层/材料综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)仪器特点:
1、 MSE是市场上唯一的可以评估坚硬涂层的试验机,对坚硬涂层具有高分辨能力,可对多种坚硬涂层进行评估,如TiN,DLC(类金刚石镀膜),CBN(立方氮化硼)和金刚石等,填补了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的空白。
2、MSE也是唯一的可对多涂层进行精确评估的试验机。
3、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的,可在不破坏基体材料的情况下,对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的精确控制,具有很好的重复性。
4、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1μm的磨损深度只需几秒时间,Si晶片约3s,蓝宝石约75s,TiN薄膜约350s,DLC约8000s。
测量步骤
评估事例
用MSE微粒喷浆冲蚀法对市场上销售的六种不同的DLC涂层的铣刀进行测量。
通过观察A到F六个试样图标,可看出其各自表面强度分布不同。即使具有同样DLC表面涂层,由于磨损率高或低,膜的薄厚会多少有些不同。六种DLC膜的不同加工工艺,导致磨损率最多相差约9倍。膜厚度最小为0.9μm,最大3.4μm。
测量应用
涂层和硬质涂层材料的研发
切削工具和研磨工具的寿命预测,可与元素分析,划痕测试等设备联用。
硬质涂层薄膜材料的研发。
坚硬新材料的研发领域,用于尖端技术(飞机或火箭)的坚硬材料和耐高温材料等。
薄膜制造工艺研发领域,不同的生产工艺导致薄膜质量差异,MSE使用磨损率对薄膜差异进行评估。
烧结材料制造工艺研发领域,在试制阶段及时进行材料的物理和力学特性评估。
各种材料摩擦率等级
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