多面反射镜的超精密切削.docx

多面反射镜的超精密切削 一、多面反射镜 过去多面反射镜只用作测量角度的标准光学元件，在一般情况下，是用它作为测量回转工作台分度精度的角度标准。随着科学技术的发展，多面反射镜的用途也在不断地扩大，目前广泛地用于激光扫描的装置中，即让多面反射镜高速回转，使照射在多面反射镜上的激光束进行扫描。利用多面反射镜制作的激光扫描装置用途很广，例如在激光打印机上使激光通过多面反射镜在感光鼓筒上进行扫描，而实现高速印刷。除此之外，还在检查轧制钢板的表面缺陷及检查胶片等的缺陷，零件、物品等的识别，用a岛激光淬火、焊接等装置上都要使用多面反射镜。在上述的各种用途中，以用在激光打印机上的多面反射镜精度最高、最有代表性。图7-20所示是激光打印机的原理图。多面反射镜是构成激光打印机的核心零件，只有多面反射镜的精度高，反射率高，打印机才能有高的析像度，像汉字、画像这样复杂的图像才能高速地印刷。因此要求多面反射镜的几何形状精度高，反射镜面的粗糙度R。值低。图7—21所示是激光打印机用多面反射镜的技术要求。从图中225可以看出，镜体的平行度和平面度精度均为0．5f,tm，镜面的角度误差在1“～y，而镜面所要求的粗糙度为R，0．01,ttm，平面度要求为A／5～2／10(Ne—Ni激光A=0．682 8『』m)c 在一般情况下，作为激光反射镜必须满足的加工精度是：形状精度(平面度)低于0．1“m，表面粗糙度R。0．01弘m，表面反射率大于85％，而且没有散乱光和衍射光。 过去因多面反射镜形状复杂，对几何形状精度和表面粗糙度的要求很高，故多采用研磨的方法进行加工。图7—22为其工艺路线，因为加工工艺复杂，效率较低，所以成本很高。 近来由于多面反射镜用途的不断扩大，用研臃方法进行加工已远远满足不了要求，因而开发了丹j铜及铜铝系合金等软金属以及塑料等材料，采用金刚石刀具超精密切削加工出多面反射镜的技术，其工艺路线见图7-23。 加工多面反射镜采用超精密切削与采用研磨相比，可以看出：采用超精密切削，工艺路线大大地l一感光滚筒：2一激比发振器；3～数字信号：4一电fi十算机；5一变调器；6-一激光束放大器；7一多【酊反射镜；8一壤焦透镜。缩短，减少了热处理、电镀等工序；不会在被加工表面上残留有磨料，也不会出现研磨时常有的塌边现象；可以批量生产，因而成本低。 近年来通过大量的试验研究，采用金刚石刀具的超精密切削方法，不仅可以加工像多面反射镜这样较小的反射镜面，而且还可以加工各种平面镜、球面镜、非球面镜和透镜等大直径的镜面。尽管采用金刚石刀具切削加工镜面有许多优点，但因这还是个新技术，无论是在加工机床、金刚石刀具的形状角度、被加工材料的可加工性、切削方法、切削条件、镜面的评价方法等方面，还存在许多问题需进一步深入地研究和探讨. 二、多面反射镜加工机床及其特点 切削加工是基于机床的复映原则进行的。要得到镜面和必要的几何形状精度，就必须有相应高的机床精度和性能。多面反射镜的加工机床是按第二章第六节所介绍的各种超精密加工用的各部件组合而成的。回转主轴与直线运动导轨均采用空气静压轴承支承。国外有一种金刚石刀具切削力U_-L多面反射镜用的机床，它有两个正变并单独驱动的高精度空气静压回转主轴。左边的主轴为装夹工件(多面镜)用，它可以按多面镜的分度要求进行精确分度。右边的主轴用于安装金刚石刀具，它具有精确的进给和走刀机构。用这种机床切削加工的庐40mm，厚度8mm的八面体铝合金反射镜。面积为15．3ram×8rnm的各镜面的平面度均可低于0．2”m，粗糙度值低于R。0．02,urn。所用的时间仅为用研磨加工的数十分之一。 另一种超精密切削多面反射镜专用机床的回转主轴采用超精密球面空气轴承支承。导轨为超精密直线运动空气静压支承导轨。它是加工激光打印机用多面反射镜的专用加工机床，以铣削方式进行加工。其铸铁床身具有很高的结构刚度，在其上安装具有双V型导轨的床鞍。由床鞍进行吃刀进给和定位。安装工件的工作台可以直线运动，采用空气静压支承。工件的走刀、进给通过介于驱动装置之间的空气静压联轴器来实现。工件装在特制的多齿盘分度：【作台上，其分度精度为l”。刀具安装在刀具主轴的刀盘上。主轴采用球面空气静压主轴，刀盘上装有两个金刚石刀具，它可以精确地调整刀尖高度，使一个刀具进行粗加工，另一个刀具进行精加工，即粗、精加工同时进行。机床的全部操作均集中在操作台上。此外，还有切削用的喷雾装置和切屑、尘雾的收集装置等。 在此机床上可以加工内切圆及庐30～4，200mm的多面反射镜。反射镜的面数可以由多齿分度盘确定，面数不限，可以自由选择。 为了能成批、稳定地切削加工出合格的多面反射镜，不仅机床本身要有足够的精度，足够的刚度、热稳定性和排除机床内部的振动装置，而且对环境也有严格的要求。为了得到长时间的热稳定性，必须把