ESD知识讲义概要.ppt

ESD 知識講義 静电基础知识 静电控制的基本原理及措施 三.　静电防护设施器材、设备仪器的基本性能与使用知识 静电放电（ＥＳＤ-- Electro Static Discharge）问题是本世纪中期以来形成的以研究静电的产生与衰减、静电放电模型、静电放电效应如电流热（火花）效应和电磁效应等的学科。近年来随着科学技术的飞速发展、微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电的电磁场效应如电磁干扰（ＥＭＩ）及电磁兼容性（ＥＭＣ）问题越来越重视。 ?? 靜電產生的原理 : ? 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 ? 3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下: 靜電電荷產生的種類: 1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導 靜電電荷對微電子工業的影響: 1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 半導體的靜電敏感度: 靜電放電的三種型式: 1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶電型式: 在自動化生產過程中,