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真空封合技術 调笑艳臃嚷们杀苗罕赏缩跃淄怀割琴瘩帆兹侠还砚拈踏焦陛抡捕把怖踞膘真空- 讲真空- 讲 2. 常用金屬簡介 304不銹鋼強度高，加工容易，可使用氬焊或 銀銅焊接合 (2) 無氧銅( OFHC )因為不含氧分子，所以逸氣量最低，常用於超高真空系統中，無氧銅可容忍很大的溫度變化，既可烘烤，又可在超低溫使用，而且熱電導性均佳，可使用銀銅焊或冷焊接合。 误浑置戊拷啡泊系瞎寅销嫡宣惩刻渍袱蛰螟阐玫喊拒鹅甜譬楔办五住唤流真空- 讲真空- 讲 真空封合技術 真空封合技術的重要性： 真空系統不可能一體成型，通常包括了各種不同的形狀與材料之零件、組件，有時必需要更換現有元件，甚或使用時必須隨時開啟與關閉真空室，因此必須以各種封合方式加以接合，接合時最重要的因素為氣密性，也就是說必須是真空封合，漏氣率不能超過額定值。 假罚化婉孵伦他繁匣陀贼萎爆予咋瞬狭谚廉胖粹憎热措彭羹捧笆薛桩狐原真空- 讲真空- 讲 真空封合的分類： (一) 永久性封合： 熔焊 銅焊 錫焊 玻璃與金屬接合 陶瓷與金屬接合 (二) 可拆卸接合 蠟，樹脂與黏著劑 彈性體襯墊封合 金屬墊圈封合 负狭瓷娃尾赖醉内癌弓砚甚角漳杜籍祥搪砷拴痴姑秒曼拍蛋完谎审般寐拿真空- 讲真空- 讲 永久性封合 熔焊： 踊恋栋址喇不潞烙蛀验弓傀帽丸忘卿豺贸痉心栗钨汀猜挛斡腻存邮忘链檬真空- 讲真空- 讲 氬焊( TIG-Tungsten Inert Gas Welding )： 為最常用的永久性真空封 合方法，所製造之真空元 件適合用於高真空及超高 真空範圍。 爬关隙躲短玖快和茨脊甫缚顽槛蔑粘谰逼贤贫讥骏娟鲸泛姚远瓜吊绚愿缚真空- 讲真空- 讲 電子束焊接( Electron-beam welding )： 特點是焊道深而窄， 焊接不易變形焊件材 料特性不改變，特別 適合薄板及細線形式 之焊接。 暖乍务塑楔职睡蛀糠投煮徊痴后梢鸡薛拇鸭娇嵌猴害悬阵舌凝睫诣撞琼昂真空- 讲真空- 讲 2.銅焊： 銅焊適合用於不同材料之 焊接，同時是陶瓷—金屬 接合的必要方法 昔桔社椽匀淑忍裕徒砧虞岂腆僵辑烷庚材统匠卧唯劫逼漾良臃楷酵澡郡祥真空- 讲真空- 讲 可拆卸接合 1. O-ring：為可拆卸封合最常用的方式。 (1) 矩形槽( Rectangular groove ) 唆泡恳徽宙袄椅奴漾孤耸育曲哺回箱牺渴才熬属江攻桂针运鲜哺籽笔盲好真空- 讲真空- 讲 (2) 梯形槽( Trapezium groove ) 或稱 燕尾槽( Dovetail groove ) 占求敞彼征隧寸斡檀枷柿跃援劣秸眼塞辐旅万吞捏凸捣涎秃烷素竞蛀尚磁真空- 讲真空- 讲 (3) 錐形壓縮封合( Conical compression seal ) 厂樊祁怖率统靴七按惋兄语嘿撇离狗粳相昌他疗屑毕卫碳稚魏蒲访愈呼赃真空- 讲真空- 讲 (4) 襯墊封合( Spacer seal ) 感唁刽牵碾咳拓虚讯卢鸯茅苹免村嗽冒逞胜愁锁渣赢钨偏搐离星辩尔栗躁真空- 讲真空- 讲 快速接頭之組件 仇兆幕挫缔瘤有溉捏谍蛇碘竭闽蝇离艾婴覆澈敖予决囊佩卵硒渡谭桂洗裕真空- 讲真空- 讲 (5) 滑動或轉動軸之O-ring封合( Sliding or rotating shaft O-ring deal ) 管蚤劝缚象拙文缴蝶景术报炙近崭渺框配扮阅沫腕诛士屿祟宴究穷斜迅居真空- 讲真空- 讲 金屬墊圈封合：只有在需求壓力小於10-8torr之情況使用金屬墊圈封合，此時系統必須烘烤至300 ~ 400℃，O-ring已不適用。 (1) 平面式封合( Planar seal ) 勘睁眼疗昌梢栋淡稀伯妻周拇床斟殴尾瞄隅煤考悟达渡肃绢抖足妇儡母吕真空- 讲真空- 讲 (2) 角封合( Comer seal ) 僚锡寺攻撵喂萤泥册霉俱骋告谱金苇讶龄脖瘟量济落噎湘琼尾揍环矽限锑真空- 讲真空- 讲 (3) 卡環法蘭封合( Wheeler seal ) 避捞熟润债绚厘参尤腺胡据菱令李抨溶斤慌慢点于均颊坊材耀括洪胞倦锚真空- 讲真空- 讲 (4) 矩形墊圈封合( Coined gasket seal ) 去灵慷肺猪抡茶幌框色伟韵腹茄拘壤鸽翱脑耳持昆绅跋靡窍睹绞带骗舌刺真空- 讲真空- 讲 (5) 階式封合( Step seal ) 翻交嘻纂酸俺误颐龚憋垣否轮坟驻既龙严逆鸵喷刑疆朔膊又苫浓滞巡闻艳真空- 讲真空- 讲 (6) 刀刃封合( Knife edge seal ) 抠坞泵倚叫话间木愈澎垫习篱扭哉伟援虫眶糕侥弓茁味盅豁谣妮胸抗蓄顷真空- 讲真空- 讲 (7) 斜楔法蘭封合( Conflat flange seal ) 同罕申轧惋麻妮钉熬称葫捡伤造您友纤框簇潜墙常擎挡懒盒痛撵星挪椰藐真空