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- 2017-02-09 发布于重庆
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GT多晶炉维护手册
GT 多晶炉维护手册.txt20如果你努力去发现美好,美好会发现你;如果你努力去尊重他人,你也会获得别人尊重;如果你努力去帮助他人,你也会得到他人的帮助。 生命就像一种回音,你送出什么它就送回什么,你播种什么就收获什么,你给予什么就得到什么。Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd
GT 多晶炉维护手册
GT Solar Technologies
Direction Solidification System
(DSS)
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd
前言
这本手册有保养,维修GT DSS 多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用
和保养多晶炉很重要,因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。
手册内容:
前言:安全考量
第一单元:预防性保养
z 预防性保养日程安排规阵
z 预防性保养程序
第二单元:维修
z 更换热电偶和保护层
z 安装/拆除DS 块
z 安装炉闸
z 调整低炉和隔热笼的高度
z 安装/拆除加热器
z 安装/拆除隔热层
z 安装/拆除电极管
z 清洗氦气阀
z 清洗水流探测器
第三单元:故障指导
z 解决警铃声响
z 解决设备故障
z 解决操作问题
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安全考量
安全标志:
以下安全标志将会出现在本手册,来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危
险。请确保维修人员,安装人员熟悉这些标志。
危险---- 出现此标志代表所讲述的情况很危险,如果不避免的话可能会导致死
亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。
警告 ---- 出现此标志代表所讲述的情况有危险,会造成重伤。只有在完全了解
了警告的讯息,才能开始进行。
小心 ---- 出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障,中度受伤或资料
遗失。
注意 ---- 出现此标志代表提供重要的相关资料,提醒或建议。
安全措施:
所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。
z 在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。
z 在硅碇出炉时,硅碇温度大于400℃,绝对不能触碰。
z 硅碇在出炉时会快速冷却,这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。
z 设备多处有高压电,高热度部位,请注意设备上的安全标示。
z 当接近有高压电处,请确保你有只手放在口袋里。
z 操作时请穿橡胶底的鞋子。
z 操作时一定要小心,不要自以为是。
z 机器不使用时真空泵一定需关上。
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第一单元:预防性保养
z 参考用( 预防性保养日程表)
z 真空测量器校准
大量程的真空测量器
精密的真空测量器
z 真空泵系统维修
更换油 – 机械泵
更换油 – 罗茨泵
检查轴带
检查在支持泵上的电磁继电器
z 底炉下降系统
螺旋启动器
软轴
闸门
离合器
z 水电缆
z 控制平台
SlimPaks
z SlimPak AC 测量
z SlimPak DC 测量
z 气体流量控制器
z 检查比率阀
清洗比率阀
z 检查热区
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd
参考用( 预防性保养日程表)
建议依照以下时间表定期执行预防性保养:
维修项目执行时间
真空测量器校准每3 个月一次
真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料
检查油量一星期一次
更换油 –机械泵每6 个月一次
更换油 – 罗茨泵每6 个月一次
检查轴带每6 个月一次
检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次
检查底炉下降系统:
螺旋启动器
软轴
每3 个月一次
一个月一次
闸门一个月一次
离合器一个月一次
水电缆每6 个月一次
检查控制平台与其附属设备一个月一次
电源供应系统校准每3 个月一次
检查SlimPak 每6 个月一次
检查与校准气体流量控制器一个月一次
检查比率阀一个月一次
清洗比率阀每3 个月一次
检查热区一个月一次
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd
z 真空测量器校准 – 每3 个月一次
校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需
要专业的仪器与工具,因此须由厂家或专业人士来处理。
注意 – 在做任何调整前测量器需要至少运作30 分钟
z 大量
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