GT多晶炉维护手册.docVIP

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  • 2017-02-09 发布于重庆
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GT多晶炉维护手册

GT 多晶炉维护手册.txt20如果你努力去发现美好,美好会发现你;如果你努力去尊重他人,你也会获得别人尊重;如果你努力去帮助他人,你也会得到他人的帮助。 生命就像一种回音,你送出什么它就送回什么,你播种什么就收获什么,你给予什么就得到什么。Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd GT 多晶炉维护手册 GT Solar Technologies Direction Solidification System (DSS) Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 前言 这本手册有保养,维修GT DSS 多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用 和保养多晶炉很重要,因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。 手册内容: 前言:安全考量 第一单元:预防性保养 z 预防性保养日程安排规阵 z 预防性保养程序 第二单元:维修 z 更换热电偶和保护层 z 安装/拆除DS 块 z 安装炉闸 z 调整低炉和隔热笼的高度 z 安装/拆除加热器 z 安装/拆除隔热层 z 安装/拆除电极管 z 清洗氦气阀 z 清洗水流探测器 第三单元:故障指导 z 解决警铃声响 z 解决设备故障 z 解决操作问题 Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 安全考量 安全标志: 以下安全标志将会出现在本手册,来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危 险。请确保维修人员,安装人员熟悉这些标志。 危险---- 出现此标志代表所讲述的情况很危险,如果不避免的话可能会导致死 亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。 警告 ---- 出现此标志代表所讲述的情况有危险,会造成重伤。只有在完全了解 了警告的讯息,才能开始进行。 小心 ---- 出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障,中度受伤或资料 遗失。 注意 ---- 出现此标志代表提供重要的相关资料,提醒或建议。 安全措施: 所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。 z 在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。 z 在硅碇出炉时,硅碇温度大于400℃,绝对不能触碰。 z 硅碇在出炉时会快速冷却,这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。 z 设备多处有高压电,高热度部位,请注意设备上的安全标示。 z 当接近有高压电处,请确保你有只手放在口袋里。 z 操作时请穿橡胶底的鞋子。 z 操作时一定要小心,不要自以为是。 z 机器不使用时真空泵一定需关上。 Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 第一单元:预防性保养 z 参考用( 预防性保养日程表) z 真空测量器校准 大量程的真空测量器 精密的真空测量器 z 真空泵系统维修 更换油 – 机械泵 更换油 – 罗茨泵 检查轴带 检查在支持泵上的电磁继电器 z 底炉下降系统 螺旋启动器 软轴 闸门 离合器 z 水电缆 z 控制平台 SlimPaks z SlimPak AC 测量 z SlimPak DC 测量 z 气体流量控制器 z 检查比率阀 清洗比率阀 z 检查热区 Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 参考用( 预防性保养日程表) 建议依照以下时间表定期执行预防性保养: 维修项目执行时间 真空测量器校准每3 个月一次 真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料 检查油量一星期一次 更换油 –机械泵每6 个月一次 更换油 – 罗茨泵每6 个月一次 检查轴带每6 个月一次 检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次 检查底炉下降系统: 螺旋启动器 软轴 每3 个月一次 一个月一次 闸门一个月一次 离合器一个月一次 水电缆每6 个月一次 检查控制平台与其附属设备一个月一次 电源供应系统校准每3 个月一次 检查SlimPak 每6 个月一次 检查与校准气体流量控制器一个月一次 检查比率阀一个月一次 清洗比率阀每3 个月一次 检查热区一个月一次 Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd z 真空测量器校准 – 每3 个月一次 校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需 要专业的仪器与工具,因此须由厂家或专业人士来处理。 注意 – 在做任何调整前测量器需要至少运作30 分钟 z 大量

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