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第5章 微执行器 5.1 微执行器的致动方式与材料 压电材料 磁致伸缩材料 凝胶 电流变体 形状记忆合金（SMA） 普通静电驱动 普通磁力驱动 普通热效应致动 微执行器的性能比较 微执行器的性能比较 5.2 典型微执行器——微马达 一、电磁型微马达 二、静电型微马达 性能 1、静电力驱动变电容式步进微马达 工艺步骤 2、静电力驱动变电容式同步微马达 工艺步骤 3、静电力驱动谐波式微马达 特点 4、电悬浮减摩措施 三、微行星齿轮减速器 应用LIGA技术 5.3 典型微执行器——微泵/微阀 1、微阀 性能 2、微泵膜片致动方式 记忆合金制动式 热—气制动式 3、无阀微泵 工作原理 5.4 典型微执行器 ——梳状微谐振器 结构与制作工艺 驱动力的计算 谐振频率计算 本章重点难点 本章学习要求 优点： a.避免因阀门磨损、疲劳及压降而降低工作寿命和可靠性 b.适合在高频下工作，脉动性小。 改进：推挽工作模式等 应用： 微位移执行器 微谐振器（微传感器、微机电滤波器） 优点： 整体为全硅结构； 非接触式激励和检测，具有高灵敏度。 两种布局 表明微加工技术制作 在驱动电压的作用下，将沿x方向产生像织布梭一样的往复振动。当驱动电压的频率与活动梳结构系统的固有频率一致时，活动梳系统便发生谐振动。 不考虑阻尼情况最低固有频率 实际差异取决于系统的阻尼，亦即机械品质因数Q值。微谐振梳须在真空环境下工作，保证很高的Q值，可高达数万。 * 微执行器的致动方式与材料 典型微执行器——微马达 典型微执行器——微泵阀与微流量系统 典型微执行器——梳状位移驱动器 微执行器的主要驱动方式及其对应材料(分类方法1) 电（静电/压电/电致伸缩/凝胶/电流变体） 磁（磁力/磁致伸缩） 热（SMA/双金属/热气动） 光、化学等 采用驱动材料与驱动结构的关系(分类方法2) 机械微结构型——运动在零件间生成，材料可应力变形 可变形微结构型——运动在零件材料内生成 再按照刚性、柔性材料分 对比：摩擦、行程、响应、“智能性”、尺度、结构复杂性 压电效应与逆压电效应 典型材料——PZT陶瓷（锆钛酸铅PbZrO3-PbTiO3 ），弹性模量为63000MPa，应变为0.001量级 典型产品——微执行器，微阀泵、超声微马达、微声器件等 特点——精确、响应快、推力大（最大应力63MPz） 工作原理：磁场作用下，长度、应力、弹性模量与声传播速度均会发生变化 参数：磁致伸缩系数λs 典型材料：合金镍、镍—钴、铁—钴、镍铁氧体， λs可达10-4~10-3 （含有稀土元素） 作为微执行器的特点 可承受应变比压电陶瓷（因其磁畴呈直线） 高的机电耦合系数 宽的工作温区 高的精度 较大的输出力 工作原理：液体+长聚合物分子组成的网状结构。当凝胶与溶解物化合时，体积膨胀变大，而当溶解物再次被释放出来时，凝胶的体积收缩变小。 （1+12） 典型材料：聚丙烯酸盐、聚乙烯醇 作为微执行器的特点 很高的机械转换效率 无摩擦 柔性体 工作原理 外加电场下，介电胶体粒子极化并沿电场方向呈链状排列，从而使其流变特性剧烈变化，如粘性、塑性、弹性。 典型用途 宏观力学元器件——离合器（具有无级可调、容易控制、响应速度高的特点）、减震器（可在约1ms内实现由低粘度到高粘度的变化，从而可独立而迅速地实现减震）、液压阀等。 微观执行器——微阀、微泵、微开关等。 作为微执行器的特点 集固体属性与液体的流动性于一体 高机械转换效率 无摩擦 柔性体 工作原理：拉力和温度诱发相变 铜基合金（如CuAlNi）——成本低、热导率极高、温度反应时间短 钛镍合金（如TiNi、TiNiCu、TiNiFe）——性能佳（强度、重复性、寿命）；导热率低；加工困难、成本高 铁基合金——成本最低、刚性好、易加工。 材料 相变温度Mt —— Ms和Mf的平均值Mt TiNi冷却过程Ms以上奥氏体， Mf以下为马氏体，M s和Mf之间（约为15℃ ）具有马氏体和两种相。Ms和Mf的平均值Mt称为相变温度约为60-75℃ 特点 突变双态性 TiNi合金内部发生的热弹性相变为严格的周而复始，无残余变形而呈现完全弹性，因此驱动的完全重复性很好，驱动精确重复 较大的力、行程，从而能量 应用 形状恢复时应力、位移——微执行器（电流加热驱动） 热敏感——热动作型的开闭器 能量贮存体 作为微执行器的特点 致动力仍较小、功率小 行程小 静电力在微观条件下： 典型结构：微静电马达、膜片驱动等 上升为主要作用力 几乎无处不在的负面影响 作为微执行器的特点 磁力产生