ICP操作规程1供参习.docVIP

ICP操作规程 开机 （一）开机前检查1）大空调风机是否开启；2）超净室冷却循环水是否开启；3）液氮转化氮气装置是否开始进入蒸发状态，存量是否够一次使用； 4）kyky水箱水位（冷却机体循环水）；5）尾气处理器的情况（水位，水的颜色等）； 6）检查Icp的供电情况（Ban2-16 单相和Ban2-19三相 空气开关是否合上；Ban2-14（尾气处理）和Ban1-n1（kyky循环水箱的电闸是否合上，三相，三火一个零线）。 7）下电极冷却水箱的冷却液的液位；8)机械泵的油位。 （二）开机 1）打开kyky水箱；2）打开尾气处理器；3）打开要使用气的气瓶阀（氯基气体除外），及其对应的流量计气柜前阀；4）打开供干泵和系统放气的N2气阀，压力显示 为10psi，5）压缩空气阀，压力显示为75-80psi，6）打开超净室冷却循环水阀，先打回水，后打进水。用手摸一下朔料管，检查是否有水流。 7）按off 按钮 复位 ；8）按Main按钮，等计算机进入window界面；9）按pump按钮（控制机械泵的开启）；10）打开下电极冷却水箱；11）打开干泵（需检查 水流量2-3.5L/M, 氮气流量指针在绿区，58-62 PaM3/s，记录运行时间； 12）双击应用程序PLC-1.36.exe，系统初始化，等待分子泵加速5分钟，这时可以进行下面的步骤： 13）logon 登录，编辑和调用recipe工艺单，等分子泵全速（三个绿灯亮，power，normal，remote）后，才能进行工艺过程。 工艺过程： 检查真空 按Manual process control 按钮，查看工艺腔的真空pressure read值，按press iso open按钮打开真空计前的阀，看工艺腔的真空pressure read值的大小，小于5mT，没有问题，如果时间很长，还达不到小于20mT, 可能分子泵的抽速不行了，大于50MT，分子泵可能没转，或者系统漏气。 清洗系统（clean） 把清洗工艺单调入当前目录窗口，或者调入编辑工艺单，save，再把编辑好的清洗工艺单调入当前目录窗口，pressure set设为 250，ICP （500），RIE（150）。Exit 工艺界面，按 full auto 按钮，进行全自动操作（打开预真空室，放入光片，ok，ok….）清洗腔室。 构造环境（condition） 如果使用氯气和BCl3，需要清洗对应的气路，然后放入该气入管路备用，步骤如下： [1]氯气的备用 先抽干上次冲入的保护管路的N2（从气瓶到腔室）： 确认V4和V3关闭，把减压器M1调到最大(旋钮变紧)，打开V1和V2后，按Manual process control 按钮，进入该界面，把 pressure set，He pressure set 和其他各路气体流量设为0，把要洗的气体流量设为最大，如Cl2 流量43，点击gases off 按钮，开始抽气，CL2 read 值变为1 既可，按gases on按钮结束抽气。 冲入N2： （1）.先关闭V1和V2，可以看到M1的值为负值，把减压器M1调到最小（旋钮变松）；（2）开V4, 把减压器M1调到20psi，慢慢打开V2，打开V1；（3）关闭V4。 再抽气 按Manual process control 按钮，进入该界面，把 pressure set，He pressure set 和其他各路气体流量设为0，把要洗的气体流量设为最大，如Cl2 流量43，点击gases off 按钮，开始抽气，CL2 read 值变为1 既可，按gases on按钮结束抽气。 充氯气入管路： 关闭V1，关闭V2阀，把减压器M1调到最小；（2）确认V4关闭后，打开氯气瓶阀V3，一定把阀调到最大，把减压器M1调到20psi，慢慢打开V2，打开V1。 [2]BCl3 的备用 同样(1)先抽干上次N2；（2）冲入N2;（3）再抽干N2；（4）冲入BCl3，，把减压器M1调到5psi（BCl3的饱和蒸气压低）。 [3]环境构造 把工艺单调入当前目录窗口，或者调入编辑工艺单（可以设置腔体压力，ICP和RIE功率，各路气体流量，工艺时间，He的流量和压力，chamber pressure Ion （torr）可以设置允许工艺开始的真空值，默认值为小于10-3，实验步数最多16步,每步工艺时，相隔5秒），save，再把编辑好的工艺单调入当前目录窗口，按 full auto 按钮，进行全自动操作（打开预真空室，放入光片，ok，ok….）进行工艺，进行二次。 进行工艺 把样片放入进行工艺。可以手动，半自动和全自动三个模式进行。结束后需要清洗氯气和BCl3管路。 清洗氯气和BCl3管路 氯气管路