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化学汽相淀积制备碳化硼 Ali O. Sezer, J.I. Brand * 美国内布拉斯加州林肯大学化工系埃弗里实验室236，林肯，NE68588-0126 摘要 碳化硼是一种重要的非金属材料，具有出色的硬度，优良的机械性能，热学和电学性能。它的低密度，耐化学腐蚀性和中子俘获能力使得碳化硼成为一个有吸引力材料，应用于微电子，核，军事，航天和医疗方面。用化学气相沉积法本文近期碳化硼结构，性质和潜在的应用领域然而，这些模型往往不能代表实际的增长机制。没有显的建模工作，例如等离子增强化学气相沉积（PECVD），热丝化学气相沉积（HFCVD），同步辐射化学气相沉积（SRCVD）。塞维诺特塞维诺特C，直到1934年才被发现[6]。对碳化硼微电子设备和高温热电偶的研究是从50年代开始的[7]。在几乎所有早期尝试制作电硼该材料具有低电阻率，因此们在微电子应用是有限的。自90年代初，已经取得了重大进展硼酐热解有机物，物理 气相沉积（PVD）[9,10]，和化学气相沉积方法经常用来实验室 [4,11]。C到BC这一范围内都存在稳定的单相碳化硼[11-13]。这个大的同质区域使得生产高科技应用的高质量定义清楚的的碳化硼变得困难。甚至用已经得到广泛认同的方法如CVD也是如此。尽管存在这个困难，CVD任然是沉积碳化硼的首选方法。经过20年的实验室CVD方法的研究，得到了许多制造不同化学计量比和性质的碳化硼工艺。在这篇文章里，我们将探讨CVD方法及其产品，同时为了对实验进行预判和设计碳化硼沉积体系尝试了为其建模。 2，碳化硼的结构和性质 2.1，结构 碳化硼在碳含量为8%到20%这一大的同质范围内存在稳定的单相化合物[14-16]。最稳定的碳化硼结构是化学计量比为B13C，BC或BC，以及其他一些 接近BC的晶系[2,11-15,17,18]。正方相（BC，BC，BC，BC，BC）[18,19]，和斜方相（BC）[2,20]都已经被确认，但这些都是亚稳结构，并且在冶金相图里没有考虑这些成分。通过实验观察碳化硼晶体的结构，有一些不确定的相如BC，BC，BC [2,18]。 菱方结构的碳化硼由共价键连接的12个原子组成的二十面体原子团簇和通过该菱方体的最长对角线上的由三个原子组成的链构成。富硼二十面体结构位于菱方体的顶端，如图1所示[13,14,16,21]。对这15个B原子和1个碳原子，晶体中有四种位置可供排列。因此碳原子和硼原子很容易互相替代，在二十面体和二十面体链之间。这就是为什么存在很多同质碳化硼的原因[2,11,16,21]。含碳20%的BC被广泛认同的结构是由B11C二十面体和C-BC二十面体间链组成。，另一方面，B13C2相由B12二十面体和直线状C-B-C二十面体间链组成，即（B12）.CBC [2,14,15,22]。碳化硼的详细结合结构如图2所示。二个二十面体单元由上面的C-B-C链中背面的B原子和下面的C-B-C链中前面横向的碳原子连接。图2展示了化学式为BC的六个原子组成的规则六边形。BC环几乎与C-B-C链正交。 图1 碳化硼的菱方晶体结构[16,21]。原子处于二十面体的顶点 位置以及二十面体间的三原子链上。 图2 碳化硼的BC2环和键合结构[2,22]。 目前已经提出了几个B-C相图。其中Elliott的相图[23]是被广泛接受的标准相图，如图3所示。B-C相图在Gmelin的《无机化学手册》里有很好的论述[2]。Elliott用高纯的原材料对B-C二元体系做了非常细致的实验研究。碳化硼的互溶极限已经通过X射线衍射得到，这对认识碳硼化合物的组成有用。这个相图所包含的碳化硼固溶体是基于BC化合物。高碳低硼区域不包含在相图内，因为碳化硼在这个区域不能作为一个单独的相存在[2]。 图3 Elliot所制的B-C相图[23]。 2.2.碳化硼的性质 碳化硼是P型半导体材料，在高温时也不失效。碳化硼具有化学惰性，不与低温化学试剂反应。加热的氧化性酸，如HNO，HSO,HClO,可以氧化它。氯和溴分别在600和800摄氏度下与之反应[4]。在湿度较大的空气里，碳化硼可以吸收氧气，BO，HBO，在其表面形成HBO。BC不与水反应。碳化硼中的碳和硼可以和如铁镍钛锆这样的金属在1000摄氏度时反应[2]。表一比较了碳化硼和同类材料的物理性质。其潜在应用领域也在这张表里给出了。 表1 碳化硼物理性质和可能的应用领域 BC-BC为 金刚石：3.515 SiC：3.210； 由于质轻可以做装2.52-2.465 GaAs： 5.320