电子能谱分析法_培训课件.pptVIP

* 定性分析 定性分析的任务：根据测定试样的微分谱上负峰的位置，进行元素分析。 其方法与X射线物相分析一样。通过测定建立起各元素的标准谱图，测定试样的俄歇谱与标准谱图进行对比。 * 各元素以及各激发线的俄歇电子动能图。 每个元素均具有多条激发线。 每个激发线的能量是固定的，仅与元素及激发线有关。 原子序数3-10的原子产生KLL俄歇电子。 对于原子序数大于14的原子还可以产生KLM，LMM，MNN俄歇过程。 从图中分析得出： * 定性分析的步骤： 1）首先把注意力集中在强峰上，把对应于此峰的可能元素减少到2~3种，然后查出这几种可能元素的标准谱逐一对比核实，最后确定是什么元素； 2）元素被确定后利用标准谱图，标明属于此元素的所有峰； 3）重复上面的步骤找出余下峰的可能元素，直到全部查清； 4）最后，如果还有难以确定的峰，就可能是损失一定能量背射出来的初级电子的能量损失峰，此时可通过改变初级电子束能量，观察此峰是否移动，若跟着移动，就不是俄歇谱峰。 * 定量分析 根据微分谱上的正峰和负峰的高度差，即峰—峰值IiWXY，定量确定元素的含量。因为俄歇谱峰的强度 式中除ni外，其余各项如果测定或计算出后，根据IiWXY的测定，即可计算出ni。 若试样含有N个元素，则单位体积内，元素i的摩尔分数xi为 常用的定量方法有标样法和相对灵敏度因子法 * 纯元素标样法 以各种纯元素j作标样，在相同条件下分别测量试样中各元素的IiWXY和标样的同一俄歇峰强度 ，则 如果试样中有N种元素，就需要N种纯元素标样，进行2N次测量，相当繁琐费时。但是，标样法较准，特别是用与待分析试样成分近似的合金或化合物标样。 它是定量分析的基础。 * 相对灵敏度因子法 取纯银标样的主峰（351eV的MNN峰）作为标准，在相同的条件下测量纯i元素的标样与纯银标样主峰进行比较，即 则Si称为i元素的“相对灵敏度因子”。各元素的Si均已测定出来，并绘制成曲线，以备使用。有了Si，则 根据实测的IiWXY和 以及Si可计算出xi. * 影响IiWXY的主要因素： A、初级电子束流Ip； B、调制能量的峰-峰值Em和锁相放大器的放大倍数L。 它们的乘积，即d=IpEmL，称为刻度系数。如果测IiWXY与 的刻度系数d不同，则 * 若不计各 的差异，无标样便可求得xi。假如各dj相同，可进一步简化为 A、相对灵敏度因子法准确性较低，但不需标样，因而应用较广。 B、杂散磁场和试样的位置误差均会强烈地影响测试结果。 * 利用俄歇电子微分谱测定304不锈钢表面成分。初级电子束能量Ep=3keV，测试结果如图所示。图上带有“*”号的几个强峰分别为Fe的703eV，强度IFe为10.1，Cr的529eV，ICr为4.7；Ni的848eV，INi为1.5。查得其相对灵敏度因子分别为SFe=0.2，SCr=0.29，SNi=0.27。 * 根据式 则 同理，xCr=22%；xNi=8%。 * 对特定仪器, ?是一定值,一般为3~4，设? =3 E KL2L2(z)=EK(z) -EL2(z) -[EL2(z+△)+?] =284 -7-（8+3 ） =266（eV） * 俄歇电子产额 俄歇电子产额或俄歇跃迁几率决定俄歇谱峰强度，直接关系到元素的定量分析。对于K层空穴，原子序数在19以下的轻元素在退激发过程中发射俄歇电子的几率在90%以上，随着原子序数的增加，俄歇电子产额下降。 * 俄歇电子产额与原子序数关系 * 从图看出：对于K层跃迁，Auger电子产额?Ka 随原子序数增大而下降。z=19 (钾元素)时，?Ka ≈90%； * z19时（属于轻元素），?Ka 90%（H、He除外）； z=33 （As元素）时， ?Ka= ?Kx = 50%（俄歇电子发射和X-荧光发射产额相等）。 * 当z19时，X-荧光发射几率10%，所以X-荧光对轻元素的分析灵敏度太低，以致于无法分析。 X荧光法只能分析z20（最好是z33）的元素；Auger电子能谱主要用于z≤32（锗，Ge）的轻元素分析，最高分析至z=50的元素。 * 俄歇电子产额 对于Z≤14的元素，采用KLL俄歇电子分析；对于14＜Z＜42的元素，采用LMM俄歇电子分析较合适；对于Z≥42的元素，采用MNN和MNO俄歇电子分析为佳。 * 俄歇电子强度 俄歇电子的强度是俄歇电子能谱进行元素定量分析的基础。 但由于俄歇电子在固体中激发过程的复杂性，到目前为止还难以用俄歇电子能谱来进行绝对的定量分析。 俄歇电子的强度除与元素的存在量有关外，还与原子的电离