刻蚀机操作培训之一--硬件介绍.pptVIP

目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 系统组成 目录 1. 概述 2. 电气模块 3. 工艺模块 3.1 工艺腔室系统 3.2 上电级和射频系统 3.3 下电极系统 3.4 真空系统 3.5 温控系统 3.6 气路系统 4. 传输模块 电气模块构成 集簇控制系统 控制盒 电源系统 下位机 上位机 显示器 触摸屏 触摸笔 键鼠 键盘(带触摸板) 电源柜 输入电源: 380VAC/3Phase 整机电源系统 PM交流系统 PM直流系统 控制盒 工艺模块控制与传输模块控制 基于DeviceNet网络的控制系统 更快的响应速度，强大的功能 更高的可靠性与稳定性 附图是传输模块，工艺模块类似 控制系统划分 DeviceNet总线耦合器 外部I/O信号收集 互锁电路板 直流电源分配端子 目录 1. 概述