X射线光电子能谱基础知识讲座 中国科学院化学研究所 刘芬 2005.10.21 讲座目的 X射线光电子能谱能解决什么问题? X射线光电子能谱怎样识别? X射线光电子能谱要注意那些问题? 内容 1 基本原理及谱的认识 2 定性、定量分析和深度分析 3 实验时应注意的问题 1 基本原理及谱的认识 1.1 概述 1.2 基本原理 1.3 谱的认识 1.4 非导电样品的荷电校正 1.1 概述 X射线光电子能谱( XPS ) X-ray Photoelectron Spectroscopy 化学分析电子能谱( ESCA ) Electron Spectroscopy for Chemical Analysis ——表面元素化学成分和元素化学态分析 的分析技术 1.1 概述 第一本论著 1967年 K. Siegbahn等著 1980年K. Siegbahn获诺贝尔物理奖 商品化仪器 七十年代中 是一门比较新的谱学 优点及特点 : ⑴固体样品用量小,不需要进行样品前处理,从而避免了引入或丢失元素所造成的误分析 ⑵表面灵敏度高,一般信息深度?10nm ⑶分析速度快,可多元素同时测定 ⑷可以给出原子序数3-92的元素信息,以获得元素 成分分析 ⑸可以给出元素化学态信息,进而可以
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