电子显微镜探究.ppt

8 电子显微镜 1 电子显微镜基本原理 粉煤灰的SEM照片 一种金属喷雾粒子的SEM照片 Cu纳米线 碳纳米管 海绵状羟基磷灰石 铝阳极氧化膜 1.2 电子波的波长 1.3 电磁透镜 1.4 电磁透镜的缺陷 1.5 电磁透镜的景深和焦长 1.6 电子显微镜的构成 1.7 与光学显微镜的比较 电子束作用于样品的范围:加速电压不同时 电子束作用于样品的范围:样品元素不同时 3.1 二次电子 (Secondary Electron） 3.2 背散射电子 （Back－scattered Electron） 二次电子与背散射电子能量比较 3.3 透射电子 （Transmitted Electron） 3.4 吸收电子 （Absorption Electron） 3.5 X 射线 （X ray） 各种元素的俄歇电子能量 3.7 阴极发光 （Cathodo－luminescence） 各种信号产生的深度及空间分辨率 4.1 二次电子产额及二次电子像 4.2 背散射电子像 4.3 X射线成分像 背散射象、X射线成分像的异同 4.4 透射电子像 5 电子显微镜的结构 5.1 电子光学系统 5.2 电子显微镜的放大倍数和分辨率 5.3 样品制备 6 微区成分分析 分光晶体的面网 间距已知，则根 据方程 λ=2dsinθ