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南台科技大械所程名奈米定位量技授老朱志良博士告名六自由度奈米定位平台生基本料班研械一甲姓名王摘要近年著各朝向微奈米化科技的展不管在材料奈米化技半奈米技生化技或甚至微精密械加工技等等各方面所需求的精度等由微米等降次微米甚至奈米等些技之所以能最重要的就是微奈米平台技的提升不在精度方面有所提在自由度目方面也都能到足以足在空中自由的六自由度六自由度微奈米定位平台未在市上有不可被取代的地位此篇文章只要是在介六自由度奈米定位平台二常六自由度前言在精密工程的展上微小化精密化已成所在展方向的要求下微米甚至次微米
南台科技大學
機械所
課程名稱:
奈米定位與量測技術
授課老師: 朱志良 博士
報告名稱: 六自由度奈米定位平台
學生基本資料
班級:碩研機械一甲
學號:MA010104
姓名:王贊賓
摘要
近年來隨著各個產業朝向微奈米化科技的發展，不管在材料奈米化技術、半
導體奈米技術、生化醫療技術、或甚至微精密機械加工技術等等各方面，所需求的精度等級由微米等級降為次微米甚至奈米等級，這些技術之所以能實現，最重要的關鍵就是微奈米平台技術的提升。不僅在精度方面有所提昇，在自由度數目方面也都能達到足以滿足在空間中自由運動的六自由度。六自由度微奈米定位平台
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