第2章 力传感器专用课件.pptVIP

第2章 力传感器 2.1 力传感器引入 2.2 电阻应变式力传感器 金属的电阻应变效应 应变片的类型和材料 金属丝式 金属箔式 金属薄膜式 金属丝式应变片 金属箔式应变片 在绝缘基底上，将厚度为0.003～0.01mm电阻箔材，利用照相制板或光刻腐蚀的方法，制成适用于各种需要的形状 金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，再加上保护层，以实现工业化批量生产 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，易实现工业化生产 问题：难控制电阻与温度和时间的变化关系 2.3 半导体压阻传感器原理 半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大，必须要有温度补偿。 2. 4 电阻应变式力传感器应用 BK－4轮辐式传感器系列  圆盘式称重传感器 铝合金材质。结构小巧低矮，小偏转，整体紧凑的结构使之具有非凡的抗干扰力，适合冲击场合及动态称量，全焊封，适合于危险环境使用。 环型称重传感器 弹性体材料用合金钢。精度达0.02%FS。 波纹管式称