波差-FT-4F.doc

光学系统的波差测量 【实验目的】 1．了解光学系统波差的基本物理概念。 2．掌握光学系统波差的激光干涉测量方法。 3. 了解光学系统的PSF及MTF的基本物理概念。 【实验原理】 如果光学系统存在像差，其出瞳平面上的光振动的位相分布与理想球面波所对应的位相分布将存在差异，实际波面和理想球面波波面之间的偏差，称为波像差(波差)。波像差可以通过泰曼－格林干涉仪进行测量，原理如下图所示，经过扩束准直后的平面波通过分束镜BS分为两部分，一部分经过标准参考镜M1反射后成为参考光束；另一部分经被测光学系统会聚其焦点处，当该焦点与标准平面镜M2完全重合时，所会聚的光束将原路返回，称为测试光束。这两束光在半反射镜处汇合，再经过观察镜L2聚焦在探测器表面。细微移动参考反射镜，使光束光的光程大致相等，在探测器表面就可以看到比较清楚的干涉条纹。由于参考光束和被测光束在前后很大范围内重叠在一起，故可在很大的深度范围内看到清晰的干涉条纹，即为被测系统光瞳面上波像差所对应的干涉图。对干涉图进行数字处理，就能确定实际波面的形状和波差的大小。 为获得对比度好和明亮的干涉条纹图样，测量时选择平面反射镜和调整仪器应注意： （1）两支光路的光程应大致相等； （2）分束镜到参考反射镜的距离大致等于分束镜到平面反射镜经被测系统所成像的距离。 若不考虑标准参考镜和标准平面镜等系统误差，设参考光波和被测光波的复振幅分别为：，中，a、b分别表示两个波面的振幅；以任意长度为单位表示的为参考光程（通常为常数）；为波数；为被测光学系统的波像差函数。 产生干涉后，形成干涉条纹图的光强表达式为： 式中，为干涉条纹的调制度。 当在测试光路中放入被测系统后，因为光线两次通过被测系统，相邻干涉条纹间距相应于光程差，干涉图的形状反映了波像差函数。 利用数字干涉测量技术可实现波差的数字求解，具体方法是：通过压电晶体驱动参考镜实现位相调制，当参考镜移动n步，每步移动量为时，根据每一步所对应的干涉图分布()，可求得被测光学系统的波差 目前常用的评价波阵面质量的指标有波峰－波谷值（PV）、均方根值（RMS）、最大面形误差（Em）。峰谷值为被测波面相对于参考波面的峰值与谷值之差，即，均方根为被测波面相对于参考波面的各点偏差的均方根值，即，式中N为波阵面上选取偏差的数目。 光学系统相对于理想物点的成像点的质量，可作为光学系统成像质量的评价指标。实验中为便于形成理想物点，对一般光学系统，通常选择理想物点位于光轴上的无穷远处，即采用平行光入射被测光学系统的方法，这时所要考察的像方焦点的分布即为点扩散函数，非相干照明条件下，点扩散函数描述了点像辐照度的相对分布，与点振幅扩散函数的关系为：，表示共轭复数。 其中：C为常数，D 为光学系统的口径，f 为光学系统的焦距，k为波数，η、ξ,取单位圆中的规化坐标，为光瞳函数， 其中是振幅，是该点的波像差函数。 对于非相干光照明下的的光学系统，其成像特性和像质评价可以用物像之间的频谱对比来表示。体现这个频谱对比特性的函数就是光学传递函数（OTF）。通过对光学传递函数的计算和测量，可正确地、总体地判断光学系统的成像质量。工作在线性范围内的光学成像系统，在其等晕区（若成像系统的点扩散函数与相应的电源在物平面的位置无关，则此系统为等晕系统）内，其光学传递函数（OTF）是相应的点扩散函数的傅里叶变换： 式中，是空间频率变量，而对应为傅里叶空间中的变量。是一个复变函数，，为调制传递函数，它是光学传递函数的实部；称为相位传递函数，是光学传递函数的虚部。显然，如果要求成像系统所成的像与物完全相同，必须使和。 和波长的关系为： 式中，σ表示两错开光瞳的重叠区，Σ表示出瞳孔径范围。 、是非负实函数，因而其频谱必定含有零频分量，而且零频分量的幅值大于任何非零频分量的幅值。决定像的清晰与否，主要不是看包括零频在内的总能量的大小，而在于带有物信息的那部分能量相对于零频分量的比值的大小，即像的对比度。因而，更能反映成像质量的是相对于各自零频分量的比值。为此，必须用零频分量对它们归一化，得出归一化频谱。 【实验光路】 【实验步骤】 1． 点击桌面软件“Csylaser”，测量“定位类别”选择为A，点击“活动图像”，屏幕上显示出探测器接收到的图像； 2． 按照光路图调节光路； 3． 将被测光学透镜（10倍物镜）放入到测量臂如图中位置，调整光学系统和标准平面镜之间的位置，使被测镜的焦点落在平面镜表面。 （注：在实验中可用一张开一个小孔的绘图纸，将该绘图纸放在光学系统的焦平面上，并使小孔与焦点重合。然后寻找焦点经平面镜反射后所形成的光点，调整平面镜的倾斜和轴向距离，使反射光点落入到小孔内。） 4． 微调工作台1上的旋钮