高效金属钯复合膜及其在超纯氢气纯化的应用.docVIP

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2017-02-13 发布于天津
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高效金属钯复合膜及其在超纯氢气纯化的应用.doc

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高效的应用徐恒泳中国科学院大连化学物理研究所大连电子信息产业的迅猛发展了电子级多晶硅的高纯度电子级多晶硅是电子信息产业和半导体集成电路产业链的初端它的质量直接关系到最终电子产品的性能同太阳能级多晶硅相比电子级多晶硅的纯度要求高的多例如德国瓦克的电子级多晶硅产品要求主要杂质硼和磷的含量分别小于和而我国送审的太阳能一级多晶硅产品的硼和磷含量分别小于和这说明我国太阳能一级多晶硅产品较国外电子级多晶硅产品的主要杂质含量高倍目前尽管国内在建新建和扩建的多晶硅项目多达余家但所生产的产品质量达不到半导体集成电

高效的应用徐恒泳中国科学院大连化学物理研究所，大连 116023 电子信息产业的迅猛发展，了电子级多晶硅的。高纯度电子级多晶硅是电子信息产业和半导体集成电路产业链的初端，它的质量直接关系到最终电子产品的性能。同太阳能级多晶硅相比，电子级多晶硅的纯度要求高的多，例如德国瓦克的电子级多晶硅产品要求主要杂质硼和磷的含量分别小于0.05 ppba和0.15 ppba，而我国送审的太阳能一级多晶硅产品的硼和磷含量分别小于0.5 ppba和1.5 ppba，这说明我国太阳能一级多晶硅产品较国外电子级多晶硅产品的主要杂质含量高10倍。目前，尽管国内在建、新建和扩建的多晶硅项目多达50余家，但所生产的产品