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电子探针微区分析 2. 微区分析技术 微区分析要定位，就必须借助于“化学显微镜”（Chemical Microscope) 化学显微术不仅可以观察样品的微观形态，更主要是探测样品的微区成份、结构、化学及物理、生物化学等特性及定位 微区分析共同特点：探束、显微镜、谱成像 （1）利用光学显微术 显微分光光度术（Microspectrophotometry, MSP) 显微红外分光光度术 荧光显微术及共聚焦显微术 喇曼显微术 （2）利用电子显微术 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 （3）扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描近场光学显微镜 （4）其他显微术 X射线显微术 声学显微镜 二、能量色散谱－能谱的概念 1.什么是能谱 将不同能量的粒子所组成的粒子束，按其能量大小区别开，测定初期强度与对应能量的关系曲线。 谱图的横坐标是能量，纵坐标是强度（粒子计数） 2.能谱图的种类 根据所测粒子种类可以分为： ①带电粒子的能谱，