CT炉体部分简介.ppt

4.日常维护及报警处理 4.1.4检查绝缘 检查是否有额外的热泄漏。检查石英管两端的绝缘环是否损坏、位置是否正确，如有必要则将之修复或者更换。有缺陷的绝缘环须在适当时候更换，以防止石英管内部的温度曲线有差异。 4.1.5对加热箱进行拉温 在外部控制下检查炉管运行时的温度曲线。其检查步骤如下： 1.设定设备的工艺环境，例如将运行一个制造工艺。排空炉管（仅针对于真空系统），大致的设定气体流量。 2.将设备加热到设定温度，检测并稳定温度。 3.将系统转换到spike控制。 4.检查温度曲线。内外显示温度差不超过正负1～2度，偏差值随温度的不同而不同，如果实际值超过偏差，那么重新拉温。 4.日常维护及报警处理 4.1.6检查冷却水系统 1.检查冷却水系统的泄漏情况，堵塞泄漏并更换有缺陷的部件。 2.检查热量转换器的流动速率。 3.如果有沉积物形成，那么将之清除。 4.1.7清洁冷却水器、电源和控制电器 使用真空吸尘器清洁以下部件： 1.电源电器 2.控制电器 3.冷却水器 4.日常维护及报警处理 4.2常见报警及其处理措施（部分） 报警ID 错误信息 原因 解决措施 6050 加热箱冷却水超压 水压超过7.5bar 检查冷却水压检查水管进出口阀门是否完全打开检查厂务冷却水压力是否过高检查超压开关的接触是否良好检查输入模块连接是否良好 61016102610361046105 冷却水SSR超温报警 盖板温度过高SSR散热片温度过高 检查SSR是否在起作用，如果SSR完好，在温度限制器冷却后使用红色重置键重置温度限制器。检查主风扇工作是否良好检查冷却水压检查进出口冷却水流量检查冷却水入口温度检查超温开关 4.日常维护及报警处理 报警ID 错误信息 原因 解决措施 62716272627362746275 加热箱超温报警 加热箱温度过高 检查主风扇检查冷却水压检查进出口冷却水流量检查超温开关 6311到6359 加热温区电流报警 炉管温区温度过高 检查CMI的超温温度设置是否正确检查CESAR控制电脑的温度设定值是否过高检查加热箱的热电偶是否损坏检查输入模块的连接是否完好 6511到6525 炉管转换器超温报警 炉管转换器温度过高 检查方法同6271 谢 谢 3.更换炉管 返回 1.超温监控器 5.CMS电源 2.TMM6电源 6.K-Bus连接到CMS上的电缆 3.CAN接线电缆 7.CMS总线模块 4.热电偶连接器 8.spikeTC的补偿配线 3.更换炉管 Spike TC电线 1.电缆槽 2.spike TC 3. clamping point 4.补偿配线 返回 3.更换炉管 1.冷取水管线 2.接地线 3.加热电源线连接 返回 3.更换炉管 加热箱的机械高度调节器 返回 3.更换炉管 安装石英管 1.石英管接头，顶部 2.石英管街头，底部 3.聚四氟乙烯条 返回 3.更换炉管 1.石英管 2.Paddle TC 3.支撑件 4.尾气管 返回 扩散炉炉体部分简介 何秀山 陈建州 汇报人： 主要内容 1.基本构成 2.控温系统 3.更换炉管 4.日常维护及报警处理 1.炉体的基本构成 扩散炉的炉体主要由以下几部分构成： 加热箱 石英管 密封体 供电系统 冷却系统 1.炉体的基本构成 1.机械高度调节器 4.机器安全系统（CMS） 2.冷却水管 (左进右出) 5.spike TC 3.温度测量模块TMM6 6.线槽 1.1加热箱（heating cassette） 1.炉体的基本构成 1.2石英管（ Process Tube） centrotherm的炉体长度2000mm，内径280mm Spike TC 包含两根热偶1根用于控温，1根用于超温报警 石英炉管 螺旋状加热炉丝 尾气管放置口 Paddle TC放置口 工艺气体进气管 1.炉体的基本构成 1.3 密封体 炉管密封体主要包括：炉门和尾部密封两部分，炉门部分通过气动控制实现炉门的开关。 该气缸实现炉门的左右运动 包括两个气缸实现炉门的前后运动 炉口处检测舟的sensor 尾气瓶 沉淀瓶 排风管 进气管 1.炉体的基本构成 1.4 供电系统 1.4.1 变压器部分 变压器位于炉体底层，每个机台共10个，每根炉管2个，其中一个作用于一、五区，另一个作用于二、三、四温区。为炉丝提供65v/90A 的加热电压和电流。 供电系统主要包括：变压器、固体继电器及电流探测器。 变压器 电流探测器 加热保险丝 固体继电器 1.4.2 固态继电器 （Solid State Relay,缩写SSR）