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PVD泵知识 11 8, 2012  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 1 抽气时间计算公式  V （L） P1 容器容积 真空室 t= S 真空泵排气速度 × 2.303log P 2 （L/MIN） t=t1+t2+t3  初期压力 （pa） 最终压力 （pa）  主阀 例：50升容积的容量，5分钟内从大气压 减压至1000pa,应选哪种真空泵？ S= V 50 × 2.303log P11.01 × 105 t 5 P2 1000 S≈ 23 L/min 真空泵 考虑到管道的连接与漏气等问题，实际 选型时，要考虑到安全率  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 2 PVD系列概要  1.PVD-N180/PVD-N360 PVD-N180 PVD系列真空泵为双级真空泵，泵体小而 坚固，极限压力低，运转时的振动、噪音小。 另外，由于装有气镇阀，对水蒸气等冷凝性气 体进行排气 过程中发挥作用。 2.PVD-N180-1/PVD-N360-1 该型号真空泵采用大油箱，能降低 泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长 油的使用寿命。 PVD-N360-1  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 3 PVD系列概要  3.性能参数 型 号 PVD-N180 PVD-N180-1 PVD-N360 PVD-N360-1 几何抽速 50Hz 9（155） 19（310） m3/h （L/min） 60Hz 11（186） 22（372） 极限压力 GP 关 6.7×10-1 Pa GP开 13.3 所需功率 kW （极数） 0.4/（4） 0.75/（4） 转速 r/min 50Hz 500 60Hz 600 所需油量 （L） 0.3 1.5 0.5 1.7 最大处理水量 （g/h） 100 重量 （kg） 44.5 50.5 54 62.5 油雾过滤器（选购件） TMN151 注：1.GP关：气镇口关闭状态；GP开：气镇口全开状态。 2.最大处理水量：当油中混入（水气）时，气镇功能所能处理的最大水量。  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 4 泵的性能  1.极限压力 样本及本文中所说的极限压力是指在泵的吸气口未吸入气体的状态下（无 负荷状态），使用本公司指定的真空泵油，并与装置完全隔离后，在泵的吸气 口用皮拉尼真空计进行测定，泵所能达到的最低压力。 2.抽气速率 油回转真空泵的抽气速率随吸入气体的种类和压力不同而变化。在高压力 领域中，抽气速率最大，随着压力的降低，抽气速率逐步降低。本泵的抽气速 率是指吸入干燥空气时的最大值。下图表示压力和抽气速率的关系。 3.动力 驱动真空泵的动力是克服机械部件旋转摩擦的功（机械功）与压缩空气的 功的总和。吸入压力在4×104 ～2.7×104 Pa之间功最大。 压力在13.3Pa以下时压缩功很小，动力几乎都耗费在机械功上。泵的一般 使用方法中，吸入压力在5.3×104 ～1.3×104 Pa之间的负荷很大，但气体很快 就被泵排出，这期间虽然有些过载，但实际上不会出现太大问题。  Copyright ?2012,ULVAC,Inc.All rights reserved  Page 5