02 第二章 激光干涉测量技术.pptVIP

三、电子散斑干涉测量技术（ESPI） ESPI：主要相对于传统光学记录方式而言， 主要指CCD采集的 散斑场信息，这样可以进行电子处理或者计算机处理。 ESPI的特点： 电子技术提取信息，可以直接显示和保存散斑 图， 操作简单、实用性强，自动化程度高、可以进行静动态 测量，不需要复杂的显影、定影及复定位技术要求 普通散斑技术的特点： 与全息类似，需要干板记录，条纹的计 数和判向与传统干涉类似， 但可以测量较粗糙的表面 偷倦仆哆吼逊箭衫扎只硅失兼搏凝匀猎躬侩摘凰敖希沁参搭冠蝶苹蔑困祷02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 基本原理 if A 0 = a 1 e jφ 1 A r = a 2 e jφ 2 CCD light intensity : I = a 1 2 + a 2 2 + 2a 1 a 2 cos(φ 1 - φ 2 ) if Α 0 = a 1 e j(φ 1 +Δφ) I = a 1 2 + a 2 2 + 2a 1 a 2 cos(φ 1 - φ 2 + Δφ) 当Δφ=2kπ，光强不变 当Δφ=(2k+1)π，光强变化 最剧烈 其他, 变化程度与Δφ有关 CCD感受的光强为参考 光的余弦调制 丈戌驮汁膀祖温换杜菠舀讽篮农猾硕间韭革孕劈新擅复按耍矮礼埂酵榜阳02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 基本原理 ESPI处理: 一般图像间相减,其结果: Δ I = 2a 1 a 2 [ cos(φ 1 - φ 2 ) - cos( φ 1 - φ 2 + Δφ )] 相减后, 光强分布仍然是Δφ的余弦分布函数, 即干涉 条纹与Δφ有关, 这种条纹反映出的是两次散斑干 涉间的光强分布之间的相关性, 称为相关条文 由于Δφ,与光程有关, 反应出的是物面的变形或位移 的多少 风陇左簿略孽侯顶部畅凛赋夹创檬绵跌扼影辅得扑妊乔呀泪午掠藕掏序眩02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 四、散斑干涉测量技术的应用 1.测量表面粗糙度 差卫始鄂础咋抽请遭砍表云萝沮羚汉乓篱胃斡迪氰衅凌锁偏密锥月樱沼侣02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 2.测量内孔的表面质量 袜闹绢边诊痹巩铅坟昭钒霄虐移垮琴钡杯郁狂吁掇鞘瓣雾蚜腮吨于按周坏02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 § 2.5 激光光纤干涉测量系统 一、 基本概念 光纤:光导纤维简称 材料:玻璃-纤芯及包层为玻璃 胶套硅光纤-芯玻璃包层塑料 纤 包 保护 塑料-均为塑料 芯 层 套 类型: 阶越式 梯度型 光纤特点: 1.传输频带宽、通讯容量大 3.不受电磁波/环境光干扰 5. 抗化学腐蚀 2.信号损耗低 4.线径细、重量轻 5. 可弯曲 故蘑刺芳法杉篆吉锭烧痈癌碧购也痈腮喇正私烧兑剪歧击滨颁浸寥宗个痢02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 测量角度 斥缀以诸赁专己痪腰擅酵陀略腊木心扰珊梭掩幕郡傲蹿圭乱况磊炙锌奠辑02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 奄馒桑牲叮谣炽努领臻一走郑级蚕裸追非硬壮次久裁鸥糟粤乙徽辱仲唐赞02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 1 t λ0 t λ0 0 测量空气折射率 Δf n = 2v c f v = L ? dn / dt Δf n = 2 L λ0 ? dn / dt ∫0 t Δf n ? dt = ∫ nm 2L λ0 ? dn nm ? 1 = 2 L ∫0 Δf n ? dt = λ0 2 L ∑ Δf ? Δt = 2 L N 飘差墨狗袖赡咱寿莽剂乾阉踪蝎鼓娩其婿笺挽逻暖吁升绰摧粗采稼音棘八02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 2.2.2 声光调制双频外差干涉仪 1.声光调制器 给谐戌缄较峪轻僻组绑厚三拭轻茵美扫整乘睹部假爽眼碴韵诞访硷攀囤瘴02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 2.声光调制双频外差测振仪 霸谎钨紫绍轩泞加劈扫政感诱矢藻干款拳芽沂夏蚁挤屑宁圆醉拧疥瘸宙撒02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 琅配辣檀闯恢典忿吐网校掠毁膝诉氓晰缠霜恿烩酬泣役屈仑班撑闸另哭纳02 第二章 激光干涉测量技术02 第二章 激光干涉测量技术 §2.4 激光全息干涉测量系统 全息的来源: 1948年盖伯(D.Gebar)提出用一个合适的相干照射 全息图，透射光的一部分就能重新模拟出原物的 散射波前，于是重现一个与原物非常逼真的三维 图像。1960年激光的出现促进了