使用水滴模板法制造具有微结构聚二甲基硅氧烷介质的柔性压力传感器.doc

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使用水滴模板法制造具有微结构聚二甲基硅氧烷介质的柔性压力传感器

使用法制造微结构聚二甲基硅氧烷介质柔性压力传感器具有高灵敏度的柔性触觉传感器,生物医学诊断人工的“电子皮肤”机器人假肢低成本较低的压力(10kPa多孔聚苯乙烯电介质结构的聚二甲基硅氧烷聚合物溶液的蒸发溶剂在其表面上的潮湿空气中冷却液滴表面成核生长形成有序的六角形阵列在剩下的聚合物膜中留蜂窝结构的孔隙柔性ITO/PET电极电容式压力传感器的介电层ITO/PET是指采用磁控溅射技术,在聚对苯二甲酸乙二醇酯PET基底材料上溅射透明氧化铟锡ITO导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品一具有代表性的压力传感器的压力响应曲线A)材料 聚苯乙烯,单端羧基锌粉钠、二硫化碳、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯),聚(苯乙烯-乙烯-苯乙烯)、氯仿、二氯甲烷、甲苯、聚苯乙烯培养皿(100毫米和150毫米直径),和普通的显微镜玻片(3020*1.2毫米,以及3010*1毫米)、盐酸、磺基琥珀酸二辛酯钠、 干燥的氮气流饮水 湿度探头和仪表微图案化材料PDMS材料 3、制成压力传感器 三、结果和讨论 【3】BFs膜和其构建的PDMS膜 a)光学显微镜下BFs图像b)光学显微镜下PDMS图像c)BFs的SEM俯视图d)PDMS的SEM俯视图e)BFs的SEM横截面图f)PDMS的SEM横截面图 【Ⅵ】具有PDMS微结构介质的压力传感器响应曲线86% (a), 90% (b), 90% (c), and 99%(d) A)BFs法制备孔材料模PDMS上的多孔结构

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