氯硅烷的分离提纯_图文.ppt

氯硅烷的分离提纯 硅氯化物分离提纯方法简介 在半导体材料多晶硅的生产中,三氯氢硅或四氯化硅提纯是一个重要的关键工序。提纯效果的优劣直接影响多晶硅的内在质量,提纯的方法主要有：精馏提纯法、部分水解吸附法、络合物形成法等等。这些方法各有特点，但在多晶硅工业生产中，目前应用最多的仍然是精馏提纯法。 精馏提纯法，也称简单精馏法，是一种最重要的提纯方法。该法以其简单有效，又避免引进任何试剂污染，绝大部分杂质均能被完全分离（三氯氢硅与绝大多数杂质挥发度相差较大，除硼、磷两种有害杂质也并不十分困难）,而得到广泛使用，所以本章将重点介绍精馏提纯法 一 .精馏提纯的基本概念 1.汽化、液化和沸点 2.饱和蒸汽压 3.挥发度与相对挥发度 4.露点 5.泡点 6.潜热和显热 7.绝对压力、表压和真空度 1.汽化、液化和沸点 汽化：物质从液态变为气态的过程。 液化：与汽化相反，即物质由气态变为液态的过程。 什么是沸点？答：当纯液体物质的饱和蒸汽压等于外压时，液体就会沸腾，此时的温度叫做该液体在指定压力下的沸点。纯物质的沸点是随外界压力的变化而改变的。当外界压力增大时，沸点升高，外界压力降低时，沸点降低。 2.饱和蒸汽压 1.7、何为饱和蒸汽压？答：在一定的温度下，与同种物质的液态（或固态）处于平衡状态的蒸汽所产生的压强叫饱和蒸汽压，它随温度的升高而增加。众所周知，放在杯子里的水，会因不断蒸发变得愈来愈少。如果把纯水放在一个密闭容器里，并抽走上方的空气，当水不断蒸发时，水面上方气相的压力，即水的蒸汽所具有的压力就不断增加。但是，当温度一定时，气相压力最中将稳定在一个固定的数值上，这时的压力称为水在该温度下的饱和蒸汽压。应当注意的是，当气相压力的数值达到饱和蒸汽压力的数值是，液相的水分子仍然不断地气化，气相中的水分子也不断地冷凝成液体，只是由于水的气化速度等于水蒸汽的冷凝速度，液体量才没有减少，气体量也没有增加，气体和液体达到平衡状态。所以，液态纯物质蒸汽所具有的压力为其饱和蒸汽压时，气液两相即达到了相平衡。 3.挥发度与相对挥发度 挥发度通常用来表示某种纯物质（液体或固体）在一定温度下蒸汽压的大小。 相对挥发度：溶液中两组分挥发度之比，称为相对挥发度 4.露点 什么是露点？答：把气体混合物在压力不变的条件下降温冷却，当冷却到某一温度时，产生的第一个微小的液滴，此温度叫做该混合物在指定压力下的露点温度，简称露点。处于露点温度下的气体称为饱和气体。从精馏塔顶蒸出的气体温度，就是处在露点温度下。 5.泡点 什么是泡点？答：液体混合物在一定压力下加热到某一温度时，液体中出现的第一个很小的气泡，即刚开始沸腾时的温度叫该液体在指定压力下的泡点温度，简称泡点。处于泡点温度下的液体称为饱和液体，即精馏塔的釜温温度。应该说明，这第一个很小的气泡，也不是纯组分，它的组成也是有相平衡关系决定的。 6.潜热和显热 什是潜热？答：单位重量的纯物质在相变（在没有化学反应的条件下，物质发生了相态的改变，称相变。如水结成冰或水汽化成水蒸气等成为相变过程。）过程吸收或放出的热叫潜热。如1公斤水由液态受热变成水蒸气的过程中所吸收的热叫水的汽化潜热，常用单位为千卡/公斤。值得注意的是，在相变时温度和压力都是不变的，否则不能称之为潜热。因此，在说潜热数值时，要说明在什么温度什么压力下，进行何种相变过程。如1公斤水在760毫米汞柱压力，100摄氏度下汽化，汽化潜热为539.6千卡。混合物的潜热可以实测或计算，其数值的大小除了和组分的性质有关外，还和组分的含量有关，不是一个固定的数值。什么是显热？答：纯物质在不发生相变和化学反应的条件下，因温度的改变而吸收或放出的热量叫显热。 7.绝对压力、表压和真空度 绝对压力：以绝对真空为基准测得的压力称为绝对压力，是流体的真实压力。 表压：以外界大气压为基准测得的压力，称为表压。工程上用压力表测得的流体压力，就是流体的表压。它是流体的绝对压力与外界大气压力的差值， 表压＝绝对压力－大气压力 真空度：表压为正值时，称为正压；为负值时，则称为负压。通常把其负值改为正值，称为真空度。真空度与绝对压力的关系为 真空度＝大气压力－绝对压力 测量负压的压力表，又称为真空表。 二 精馏原理 1.精馏基本概念 2.传质、传热 3.回流比 4.最小回流 5.全回流 6.