爪型干式真空泵.docVIP

爪型干式真空泵 说明书 目 录 1 爪型干式真空泵概述及特点 2 2 爪型干式真空泵性能参数 3 3 安装说明 6 4 使用方法 6 5 保养维护 7 6 注意事项 7 7 随机文件（见装箱单） 9 说明：爪型干式真空泵是一种高精密的机器，尽管它的各项技术性能经各行业用户长期使用证明：在正常使用下能确保长期可靠的工作，并且维护成本低。但是，如果使用和维护不当，将导致严重的损坏。故此我们恳请用户：使用前请仔细阅读本说明书。 1 爪型干式真空泵概述及特点 1.1 爪型干式真空泵概述 爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。 爪型干式真空泵被广泛应用与半导体、光学器件、化工、核工业、薄膜、仪器、医药、生物制药和食品等领域。 1.2 爪型干式真空泵的特点 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染； 真空度高，可达3Pa； 结构简单，易于操作和维护，运行成本低； 能在较高压力下长期连续工作，噪声小； 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃的气体和可凝性气体（例如水蒸气、有机气体等）； 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105； 转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间