解析压电式传感器.pptVIP

主要用于动态作用力、压力和加速度的测量 一、压电式传感器的工作原理 （一）压电效应 某些晶体在外力的作用下，不仅几何尺寸发生变化，而且晶体内部产生极化现象，晶体表面出现电荷，形成电场。当外力去除后，晶体恢复原状，这种现象称压电效应。 压电材料：具有压电效应的材料 逆压电效应：将压电材料置于电场中，其几何尺寸也会发生变化，这种现象称为逆压电效应或电致伸缩效应。 （二）石英晶体的压电效应 1.石英晶体材料的特性 石英晶体即二氧化硅无水 化合物，SiO2 ①具有理想的线性，无滞后 ②刚性好 ③频率响应范围宽，特别适用于动态测量 ④稳定性好，时间老化率低，无热释电现象 ⑤居里点高，573℃，对温度的敏感性比电阻、电感类要低得多，因此灵敏度变化极小 ⑥具有较高的绝缘阻抗 3.石英晶体的压电效应 ①纵向效应 x0°切割，沿x轴方向受力， 在垂直于x轴的平面上产生电荷 Q与作用力Fx成正比，且与晶片 几何尺寸无关。 ②横向效应 对石英晶体y0°切割，截得压电元件两端面与y轴相垂直，当沿y轴方向受力，在垂直于x轴的平面上产生电何Q与作用力Fy成正比，且与晶片尺寸无关 二、压电材料及压电元件的结构 （一）对压电材料的要求 ①具有较大压电常数 ②机械强度高、刚度大，固有频率高 ③高电阻率，大介电常数 ④高居里点（压电性能破坏时的温度转变点） ⑤压电特性不随时间蜕变，时间稳定性要好 （二）常见压电材料简介 1.石英晶体 天然 人造——利用天然原料高温融合，再按要求切割成形 优点：如前述 缺点：灵敏度低，介电常数小 2.压电陶瓷 烧制方便、耐湿、耐高温、易于成型，应用最普遍。 ①钛酸钡压电陶瓷BaTiO3 ②锆钛酸铅系压电陶瓷 ③铌酸盐系压电陶瓷 ④铌镁酸铅压电陶瓷 3.水溶性压电晶体 4.铌酸锂晶体 5.压电半导体 6.高分子压电材料 压电薄膜，柔软、不易破碎，可以大量生产和制成较大面积。 （三）压电元件的常用结构形式 1.并联 输出电容C′= nC 输出电压U′= U 输出电荷Q′= nQ 时间常数大，适用于测量缓慢信号，并 以电荷量作为输出的场合。 2.串联 输出电容C′= C/n 输出电压U′= nU 输出电荷Q′= Q 适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。 （四）预应力 压电元件上应施加预应力，保证压电片始终受力，使输出与作用力之间为线性关系。 三、压电式传感器的测量电路 压电式传感器的内阻抗很高，输出信号微弱，一般不能直接显示和记录，压电式传感器要求后续测量电路要有足够高的输入阻抗。 等效电路 C=Cc+Ci 压电传感器受力 F=Fmsinωt 2.电荷放大器 电荷输入，电压输出。如忽略电阻Ra、 Ri和Rf的影响，则 Qi=Q-Qf 当A足够大， Ui≈0 Qi≈0 故：Qf=Q U0=-Ucf =-Q/Cf 电荷放大器的灵敏度： K=U0/Q=－1/Cf 说明： ①电荷放大器的输出电压与压电传感器产生的电荷量Q成正比，与放大器的反馈电容Cf成反比； ②只要放大器的放大倍数A足够大，电缆电容、输入电容等对输出的影响可以忽略； ③Cf两端并联反馈电阻，形成直流反馈，以稳定放大器的直流工作点。 四、压电式传感的应用 可用于测量力、压力、振动的加速度，也可用于声学和声发射等测量。 二.测量汽缸中燃烧的爆发力 将石英力传感器紧固在汽缸盖的紧固螺栓中，相当 于垫圈的 作用，电 荷放大器 输出接峰 值电压表， 即可指示 出汽缸的 爆发力。 * * 第 四 讲压电式传感技术 、 和 ，其大小为： 2、石英晶体压电效应产生的原因 （1）、石英晶体未受到外力作用时，如图6—2（A）示。石英晶体的晶格是正六边形，正离子Si+和负离子0-正好分布在正六边形的顶角上，形成了三个互成1200夹角的偶极矩 由于是正六边形，正负电荷中心重合。因此电偶极矩矢量和等于0。即 故电荷平衡，晶体表面不产生电荷， 呈中性。 （2）、石英晶体受到沿X轴方向的压力作用，即FX 0，如图6—2（B）示。石英晶体将在X轴方向产生压缩变形，正、负离子的相对位置发生变化。正硅离子①被挤入到负离子②和⑥之间，负离子氧④被挤入到正离子③和⑤之间，此时石英晶体不再是正六边形了，因而正、负电荷中心不再重合，电偶极矩矢量和在X、Y、Z三个轴方向的分量，分别为： 结果在沿X轴正向垂直表面上出现负电荷，其相对表面出现正电