第3章应变式传感器.ppt

《自动检测技术》电子课件 第3章 应变式传感器 第3章 应变式传感器 电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器, 传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。 当被测物理量作用在弹性元件上时, 弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化, 通过转换电路将其转变成电量输出, 电量变化的大小反映了被测物理量的大小。应变式电阻传感器是目前测量力、力矩、 压力、加速度、重量等参数应用最广泛的传感器。 第3章 应变式传感器 3.1 工作原理 电阻应变片的工作原理是基于应变效应, 即在导体产生机械变形时, 它的电阻值相应发生变化。  如图 3 - 1 所示, 一根金属电阻丝, 在其未受力时, 原始电阻值为:  R=  式中: ρ——电阻丝的电阻率;  L——电阻丝的长度;  S——电阻丝的截面积。 第3章 应变式传感器 第3章 应变式传感器 当电阻丝受到拉力F作用时, 将伸长ΔL, 横截面积相应减小ΔS, 电阻率将因晶格发生变形等因素而改变Δρ, 故引起电阻值相对变化量为 式中ΔL/L是长度相对变化量, 用应变ε表示 ΔS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量, 即 第3章 应变式传感器 由材料力学可知, 在弹性范围内, 金属丝受拉力时, 沿轴向伸长, 沿径向缩短, 那么轴向应变和径向应变的关系可表示为 式中: μ——电阻丝材料的泊松比, 负号表示应变方向相反。  将式（3 - 3）, 式（3 - 5）代入式（3 - 2）, 可得   或 第3章 应变式传感器 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量, 其表达式为 灵敏度系数受两个因素影响: 一个是受力后材料几何尺寸的变化, 即（1+2μ）; 另一个是受力后材料的电阻率发生的变化, 即（Δρ/ρ）/ε。 对金属材料电阻丝来说, 灵敏度系数表达式中（1+2μ）的值要比（（Δρ/ρ）/ε）大得多, 而半导体材料的（（Δρ/ρ）/ε）项的值比（1+2μ）大得多。 大量实验证明, 在电阻丝拉伸极限内, 电阻的相对变化与应变成正比, 即K为常数。 第3章 应变式传感器 用应变片测量应变或应力时, 根据上述特点, 在外力作用下, 被测对象产生微小机械变形, 应变片随着发生相同的变化, 同时应变片电阻值也发生相应变化。当测得应变片电阻值变化量ΔR时, 便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系, 得到应力值σ为 σ=E·ε （3 - 9） 式中 : σ——试件的应力;  ε——试件的应变;  E——试件材料的弹性模量。 由此可知, 应力值σ正比于应变ε, 而试件应变ε正比于电阻值的变化, 所以应力σ正比于电阻值的变化, 这就是利用应变片测量应变的基本原理。 第3章 应变式传感器 3.2 电阻应变片特性 一、 电阻应变片的种类 电阻应变片品种繁多, 形式多样。 但常用的应变片可分为两类: 金属电阻应变片和半导体电阻应变片。  金属应变片由敏感栅、 基片、 覆盖层和引线等部分组成, 如图 3 - 2 所示。  敏感栅是应变片的核心部分, 它粘贴在绝缘的基片上, 其上再粘贴起保护作用的覆盖层, 两端焊接引出导线。金属电阻应变片的敏感栅有丝式、 箔式和薄膜式三种。 第3章 应变式传感器 第3章 应变式传感器 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅, 其厚度一般在0.003～0.01mm。其优点是散热条件好, 允许通过的电流较大, 可制成各种所需的形状, 便于批量生产。薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅, 最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大, 允许电流密度大,