第4章 物性型传感器.ppt

第4章 物性型传感器 概述 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。 当某些材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 4.1 压电效应及压电材料 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生“极化现象”，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为“逆压电效应” 。 4.1 压电效应及压电材料 具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图4-1所示。 4.1 压电效应及压电材料 石英晶体、钛酸钡等材料是性能优良的压电材料。 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。前者为晶体，后者为极化处理的多晶体。 他们都具有较大的压电常数，机械性能良好，时间稳定性好，温度稳定性好等特性，所以是较理想的压电材料。 4.1 压电效应及压电材料 压电材料的主要特性参数有：  （1） 压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 （2） 弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 （3） 介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 (4）居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。 4.1 压电效应及压电材料 4.1.1 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2（二氧化硅），是单晶体结构 它的转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 4.1 压电效应及压电材料 图（a）表示了天然结构的石英晶体外形。它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械y方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 4.1 压电效应及压电材料 若从晶体上沿y方向切下一块如图5-2（c）所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 式中： ——x方向受力的压电系数； ——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上将产生电荷Qy，其大小为： 4.1 压电效应及压电材料 4.1 压电效应及压电材料 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。图4-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。图中“+” 代表 离子，“-” 代表氧离子 4.1 压电效应及压电材料 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3= 0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。 当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图4-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，即（P1+P2+P3） 0 。在x轴的负方向出现正电荷，电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。 4.1 压电效应及压电材料 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体变形如图4-3（c）所示，与图4-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3 减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。 当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 4.1 压电效应及压电材料 4.1.2 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零，因此原始的压电