EXT75DX涡轮分子泵.docVIP

EXT75DX复合涡轮分子真空泵 EXT75DX复合涡轮分子泵采用众多先进技术，下轴承为陶瓷机械轴承，上轴承为永久性磁悬浮轴承，Holweck 拖曳级24V驱动，可通过并口/串口与TIC控制器通讯。这样一台EXT75DX泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。 性能曲线 1. N2 2. He 3. H2 1. N2 2. He 安装尺寸 A 手动放气阀（放气口） E 吹扫口（空白） B 电源插件 F 级间接口（仅EXT75iDX） C 逻辑接口 G 电源插件连接插孔 D 前级泵接口 H 接地 订货信息 产品描述 货号 EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-K EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63CF EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN40NW EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISOK EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISO-K (DN25NW Backing) EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN40NW EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-K EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-K (NW25 Interstage) 技术参数 入口法兰 DN63ISO-K、 DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K 出口法蓝 NW16 泵速 N2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100） 61 l/s 42 l/s 66 l/s He（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100） 57 l/s 49 l/s 59 l/s H2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100） 53 l/s 48 l/s 54 l/s 压缩比 N2 1×1011 He 1×106 H2 5×104 极限真空 前级泵用RV泵，ISO/CF 1×10-9/ 1×10-10mbar 前级泵用隔膜泵，ISO/CF 1×10-8/ 1×10-9mbar 推荐前级泵* RV5/XDS5 放气口 1/8 inch BSP内螺纹 吹扫净化口 1/8 inch BSP内螺纹 最大入口连续压力（抽轻的气体）? 水冷（水温15°C，环境温度40°C） 2×10-2mbar 空冷（环境温度35 °C） 1×10-2mbar 泵转速 额定转速 90000 rpm 待机转速 49500~90000rpm（缺省设置63000 rpm） 可调功率范围 50~120W（缺省设置80W） 启动时间（达到90%转速） 110s? 模拟输出 泵转速、功耗、泵温、控制温度 冷却方式? 空冷/水冷 空冷时的环境温度范围 5~35°C 最小水冷流速（水温15°C） 15 l/h 水温范围 10~20°C 最大入口温度 80°C 工作姿态 垂直，水平 噪音（1m） 50 dB(A) 最大允许磁场强度 5mT 推荐控制器 TIC100涡轮仪表控制器 稳态功耗 10W * 根据应用也可以使用较小的前级泵，可以使用极限真空小于5 mbar的隔膜泵，如XDD1。 ? 高于该压力，转速将会下降到额定转速以下。 ? 功耗80 W ? 空冷和水冷附件需另购