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120ta高纯三氯氧磷工程可行性研究报告书
XX县XX化工有限公司
120t/a高纯三氯氧磷工程
可
行
性
研
究
报
告
二0一0年十二月
前 言
为贯彻落实“安全第一,预防为主、综合治理”的安全生产方针,落实国家安全生产监督管理总局、省政府、省安监局等有关建设项目(工程)“三同时”相关规定。在建设项目设计之前,项目组到现场认真、仔细地落实了设计条件,结合公司所在的江苏XX经技术开发区XX工业园按照《投资项目可行性研究指南》《使用有毒物品作业场所劳动保护条例》(国务院令第352号);第号(流动资金估算表)《省建工程定额》、《省工程定额》省安装工程定额江苏XX经济开发区XX工业园1)项目技术和设备立足国内。
(2)节约用地,节省基建投资,加快建设进度。
(3)主体工程与环境保护、安全和工业卫生、消防同时考虑,以消除工厂生产对周围环境及职工健康的影响。
(4)优化设计方案,提高企业经济效益和社会效益。
(5)贯彻工厂布置一体化,生产装置露天化,建构筑物轻型化,设备技术国产化的原则。
(6)设计中遵守国家法律、法规及有关标准、规范。
1.3 项目提出的背景、投资必要性和经济意义
1.3.1 企业概况
XX县XX化工有限公司是XX县人民政府招商局招商引资项目。该公司自立项以来一直得到XX县政府、江苏XX经济开发区XX工业园江苏XX经济开发区XX工业园1)该项目技术较先进,设备可立足国内。
(2)充分利用新招聘的技术人员、管理人员及管理经验。
(3)通过技术及财务评价看出,该项目可为高新技术企业、产品附加值高,可以为国家创造较好的经济效益和社会效益。因此该项目的建设是有意义的,项目是可行的。
第二章 市场需求预测和拟建规模
2.1 项目产品市场调查与竞争能力预测
2.1.1项目产品市场调查
项目产品可广泛应用于半导体、光电子产业、太阳能电池、高纯化合物半导体等工业。产品生产技术处于国内先进地位。目前,中小规模(5 u m L上技术)、分立器{阜生产厂家及晶体硅太阳能电池、光纤制造厂家对于6N级三氯氧磷的需求总量将达到100吨/年以上;大规模集成电路(4英寸晶圆2~3um,0 8—1.2 um技书术)及超大规模集成电路(5、6和8英寸晶圆,0.5~0.6um,0.35um,0.25um,0.18pm和0.13um技术)、极大规模集成电路(12英寸晶圆,0.13um~0.11um技术)生产线及厂家按月生产l万片硅片生产线平均需三氯氧磷5千克/月的用量计算,年需7N(相当于BV-Ⅳ级)大约在170吨/年的规模,并呈每年20%以上增长的态势;三氯氧磷国内外需求量:国内300吨/年,国际200吨/年。
电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路(IC)制作过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的N型掺杂,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的E.Merck及Merck-Kanfo公司(占全球市场份额的36.4%);美国的Ashlana公司(占全球市场份额的25.7%),Arch公司(占全球市场份额的9.5%),aliinckradt Baker公司(占全球市场份额的4.4%);日本的Wako(占全球市场份额的lO.1%),Sumitomo(占全球市场份额的7.1%)。另外还有日本的关东株式会社、住友合成、德川、三菱,我国台湾地区的长春、中华、长新化学,韩国的DONOWOOFINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、SAMYOUNG FINECHEM等公司。在技术方面,美国、德国、日本、韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产0.2-0.6 u m技术用的工艺化学品,0.09—0. 2u m技术用工艺化学品也已经完成了实验室 工艺研究并开始规模生产。
项目所需主要原材料为工业黄磷。目前有黄磷生产企业38家,黄磷生产能力为25.2万吨,实际产量已超过20万吨.位于全国第二位,黄磷供应量足够满足公司生产所需.并具有地域上的优势。
2.1.2 竞争能力预测
公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术,投入生产可以替代进口,填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的技术水平,打破国内外产品的垄断。
目前,国内尚无大规模的同类产品生产企业,所以生产产品竞争优势明显。
第三章 产品方案及生产规模
3.1 产品方案
产品:120吨/年高纯三氯氧磷
3.2 生产规模
高纯三氯氧磷生产规模为120吨/年
年生产天数:300天
3.3项目的技术可行性和成熟性分析
3.3.1项目产品检测情况
电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测,其产品的纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会(SEMI)所制定的产品质量标准.达到日本
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