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全球兩大LCD曝光設備廠因311地震受創小尺寸LCD及大陸8.5代廠擴產進度恐延後 分析師暨專案經理 林芬卉 研究中心 杜振宇 日本主要LCD陣列製程設備廠產品及南韓廠商自給率一覽 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3 日本設備廠 南韓自製率超過50% 南韓自製率未及50% ULVAC － PECVD、濺鍍機 Nikon － 曝光機 Canon － 濺鍍機、曝光機 Tokyo Electron (TEL) 顯影機 乾式蝕刻機、光阻塗布機 大日本Screen製造(DNS) 濕式蝕刻機、洗淨機、光阻剝離機、顯影機 光阻塗布機、曝光機 芝浦Mechatronics 洗淨機、顯影、光阻剝離機 － 全球LCD用曝光機主要由日本供應，他廠自製不易。 且日本Nikon及Canon工廠離地震帶較為接近。 Nikon及Canon曝光機廠房受損一覽 公司 廠房所在位置 震度 地震受損情形 Nikon 宮城Nikon Precision與櫪木Nikon Precision 5~6級 因部分設備與建物受損，該公司目前復工時間未定。 Canon 宇都宮事業所(位於櫪木縣宇都宮市)、阿見事業所(位於茨城縣稻敷郡) 兩廠房皆為6級 Canon曝光機廠3月14日起停工，且復工時間仍未定，主因為停電、建物受損、生產設備中斷等。 資料來源：DIGITIMES，2011/3 2009年會計年度全球LCD用曝光機市佔率 單位：台 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3 2012年會計年度全球LCD用曝光機市佔率預測 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3 Nikon因日本311大地震停工工廠所在位置一覽 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3 宮城Nikon Precision：位於宮城縣刈田郡，震度6。 仙台Nikon：位於宮城縣名取市，震度6。 櫪木Nikon：位於櫪木縣大田原市，震度5~6。 櫪木Nikon Precision：位於櫪木縣大田原市，震度5~6。 主生產曝光機 主生產曝光機 2009~2010會計年度Nikon LCD曝光機銷售數分布 資料來源：Nikon，DIGITIMES整理，2011/3 單位：台 62 45 Canon因日本311大地震停工工廠所在位置一覽 資料來源：Canon，DIGITIMES整理，2011/3 宇都宮事業所：位於櫪木縣宇都宮市 阿見事業所：位於茨城縣稻敷郡 取手事業所：位於茨城縣取手市 主生產曝光機 主生產曝光機 主生產影像事務機 2009~2011年Canon LCD曝光機銷售量變化 資料來源：Canon，2011/1；DIGITIMES整理，2011/3 單位：台 註：Canon係以西元年為其會計年度。 TFT LCD新產線多位於大陸地區曝光機大廠受地震影響恐將延緩交機 資料來源：DIGITIMES，2011/3 面板廠商 世代 4Q’10 1Q’11 2Q’11 3Q’11 4Q’11 1Q’12 2Q’12 3Q’12 4Q’12 合肥京東方 6G 10 30 60 90 90 90 90 90 90 南京熊貓 6G 0 10 30 45 60 60 60 60 60 京東方(北京) 8.5 0 0 0 10 30 45 75 90 90 華星光電(深圳) 8.5G 0 0 0 0 10 30 45 75 90 友達(昆山) 7.5G 0 0 0 0 0 0 0 5 30 三星電子(蘇州) 7.5G 0 0 0 0 0 更新：預估 2012年底 LGD(廣州) 8.5G 0 0 0 0 0 更新：延期未定 產能：千片 玻璃基板/月(K Sheet/month) 註：友達昆山廠若要從7.5代線改為8.5代線規格，須向經濟部提出修改申請。 從全球TFT LCD產業設備供應鏈來看，雖南韓近幾年致力於提升該產業設備自製化，然其中以PECVD、濺鍍機、曝光機自製率最低，仰賴日本進口比重高。 以本次日本地震區分布來看，TFT LCD陣列製程(Array)機台供應者中，以尼康(Nikon)及佳能(Canon)受創較為嚴重，而兩家業者幾獨佔全球LCD用曝光機市場，因此對於全球TFT LCD設備產業鏈影響較大。 以全球LCD用曝光機比重分布來看，Nikon佔有率約5~6成，而Canon佔有率約4成至5成以下。 綜觀全球TFT LCD新產線，以大陸地區為多，而7代線(含)以上產線多計劃於2011年下半至2012年量產，DIGITIMES認為，若後續仍有曝光機需求的TFT LCD業者，恐將面臨延緩交機時程。 * 從TFT LCD產業設備供應鏈來看，雖南韓近幾年致力於提升該產業設備自製