原子力显微镜的原理及应用.PDFVIP

原子力显微镜的原理及应用 北京大学生物医学工程 05 硕 喻敏 一、引言 1985年Binnig与斯坦福大学的C. F. Quate和IBM苏黎士实验室的Christoph Gerber合 作推出了原子力显微镜(Atomic Force Microscopy ，简称AFM) ,[1]这是一种不需要导电 试样的扫描探针型显微镜。 这种显微镜通过其粗细只有一个原子大小的探针在非常近的距 离上探索物体表面的情况，便可以分辨出其他显微镜无法分辨的极小尺度上的表面细节与 特征。由于它的出现，直接观测微观世界的大门被打开了。这种显微镜能以空前的高分辨 率探测原子和分子的形状，确定物体的电、磁与机械特性，甚至能确定温度变化的情况。 使 用这种显微镜时无需使试样发生变化，也无需使试样受破坏性的高能辐射作用。 1 AFM基本原理 总合起来讲，原子力显微镜的工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂 的另一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力会使得微悬臂 轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间排斥力的直接量度。一束激 光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小变形，这样就实现了通 过检