检测技术实验3扩散硅压阻式压力传感器电容传感器直流激励时霍尔传感器和反射式光纤位移传感器测量实验.docVIP

上海电力学院 检测技术实验 实验八　压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 二、实验仪器 压力传感器、气室、气压表、分压器、差动放大器、电压放大器、直流电压表 三、实验原理 扩散硅压力传感器的工作原理如图8-1，在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直于电流方向将会产生电场变化，该电场的变化引起电位变化，则在与电流方向垂直的两侧得到输出电压Uo。 （8-1） 式中d为元件两端距离。 实验接线图如图8-2所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1P2时，输出为正；P1P2时，输出为负（P1与P2为传感器的两个气压输入端所产生的压强）。 图8-1 扩散硅压力传感器原理图 图8-2 扩散硅压力传感器接线图 四、实验内容与步骤 按图8-2接好“差动放大器”与“电压放大器”，“电压放大器”输出端接数显直流电压表，选择20V档，打开直流开关电源。 调节“差动放大器”与“电压放大器”的增益调节电位器到适当位置并保持不动，用导线将“差动放大器”的输入端短接，然后调节调零电位器使直流电压表20V档显示为零。 取下短路导线，并按图8-2连接“压力传感器”与“分压器”。 气室的活塞退回到刻度“17”的小孔后，使气室的压力相对大气压均为0，气压计指在“零”刻度处，将“压力传感器”的输出接到差动放大器的输入端，调节Rw1使直流电压表20V档显示为零。 填入下表。 P(kP) U（V） 实验结束后，关闭实验台电源，整理好实验设备。 实验九　扩散硅压阻式压力传感器差压测量 一、实验目的 了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。 二、基本原理 压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力P1和P2作用时，由于它们对膜片产生的应力正好相反，因此作用在膜片上是△P=P1-P2，从而可以进行差压测量。 三、需要器件与单元 实验八所用器件与单元、压力气囊。 四、实验步骤 1. 扩散硅压力传感器MP×10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2的活塞退到20ml处，并按图4-1接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2端为负压力输入，P×10有4个引出脚，1脚接地、2脚为 Uo＋、3脚接+5V电源、4脚为Uo﹣；当P1＞P2时，输出为正；当P1＜P2时，输出为负。 2. 检查气路系统，分别推进气室1、2的两个活塞，对应的气压计有显示压力值并能保持不动。 3. 接入+4V、±15V直流稳压电源，模块输出端Uo2接控制台上数显直流电压表，选择20V档，打开实验台总电源。 4. 调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。 5. 退回气室1、2的两个活塞，使两个气压计均指在“零”刻度处，将MP×10的输出接到差动放大器的输入端Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。 6. 保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.095Mpa；填入表4-1。 P(KP) Uo2(V) 7. 保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.095Mpa；填入表4-2。 P(KP) Uo2(V) 8. 保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.0Mpa；填入表4-3。 P(KP) Uo2(V) 9. 保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.0Mpa；填入表4-4 P(KP) Uo2(V) 实验十四 电容式传感器的位移特性实验 一、实验目的 了解电容传感器的结构及特点。 二、实验仪器 电容传感器、电容变换器、测微头、数显直流电压表、直流稳压电源、绝缘护套 三、实验原理 电容式传感器是指能将被测物理量的变化转换为电容量变化的一