国立清华大学奈微与材料中心KarlSuss单面对准曝光机操作手册机.doc

國立清華大學 奈微與材料中心 Karl Suss 單面對準曝光機 操作手冊 機台管理者:吳若穎 分機:42291 機台考官:郭文鳳 分機:42291 Karl Suss 單面對準操作手冊與注意事項 使用機台前，請先check 前次的使用記錄，若發現前次使用已 發生問題，請暫停使用並通知機台負責人。 一、操作步驟： 1.使用機台前請先確認溫溼度(溫度25°，溼度60%)，再刷卡。 2.打開氮氣開關(沒有吹氮氣，汞燈會因過熱而爆炸)，如圖(1)；打開pump開關(光罩真空及吸盤用)，如圖(2)。 圖(1) 圖(2) 3.填寫使用記錄，各項項目請務必確實填寫。依照操作記錄表中的使用前檢查，逐一確 認。其中 (1)Compressed Air：5-7bar (2)Nitrogen：2-3bar (3)Vacuum-0.8bar (4)氮氣流量：300 氮 氣 流 量 計 圖(3) 4.按下汞燈電源開關，經自我測試後，直到面板顯示rdy，然後按下START鍵，面板將顯示cold(不斷閃爍，此時汞燈正逐漸點亮)，當面版由cold變為數字時，如圖(4)，此時汞燈已完全點亮，接著按下對準機電源開關，如圖(5)。 注意：汞燈模式需固定於CP mode，如圖(4) 圖(4) 圖(5) 5.接著在液晶顯示面版上顯示Ready for Start Press“LOAD”Key的訊息，然後： (1)檢查晶片基座的位置是否已歸零： ﹝a﹞將X、Y軸微調鈕歸零(刻度0對準第二條線)，如圖(6)。 ﹝b﹞調整X、Y軸粗調鈕及Φ角調整鈕(調整吸盤的旋轉角度)，如圖(7、8)，將 歸零訂位器上的黑色十字線蓋住白色十字線，歸零。 調整吸盤 X 軸粗調 調整吸盤 Y 軸粗調 對準第二條線 調整吸盤 X 軸微調 調整吸盤 Y 軸微調 圖(6) 圖(7) (2)檢查物鏡的高度是否歸零，將物鏡焦距粗調鈕上所畫兩條線調成一直線，圖(9) (3)檢查完畢後在面版上按LOAD鍵，此時單面對準機會做自我測試及歸零校正(物鏡會升起，station會移進去)，同時顯示“Watching Out Machine Starting”的訊息。 Φ角調整鈕 圖(8) 一直線 物鏡焦距粗調鈕 圖(9) 6.自我測試及校正歸零完畢後，顯示“Exp.Time﹝s﹞：**.0”的訊息，接著按下ALIGN 鍵後，station會移出來。 7.裝Mask： (1)轉開Maskholder左側的兩個旋鈕，如圖(10)左側箭頭所指，慢慢取出Maskholder， 拉出來一點點時物鏡會自動升起，拉出時請勿太快，以免Maskholder撞到物鏡，取出後將Maskholder翻轉放在桌上。 Maskholder 圖(10) (2)扳開右邊的夾具(將右邊的夾具用右手食、拇指壓住向右拉)，將Mask緊靠三個定位點，圖(11)黃色箭頭所指，並確定Mask與Maskholder貼實，且確定Mask鉻膜面朝上。 (3)將光罩真空開關由0撥到1，如圖(12)，開啟真空吸住Mask，扳動Mask測試是否確實被吸住。 注意：光罩的鉻面需朝上 光罩真空開關 圖(