国立清华大学奈微与材料中心ICP(HDP)操作手册机台管理者吴若颖.docVIP

國立清華大學奈微與材料中心 ICP(HDP)操作手冊 機台管理者:吳若穎 電話:42291 工程三館228室 操作步驟: 使用機台前須確認事項 從記錄簿確認機台前次使用無問題，若發現問題，暫停使用並通知管理者。 溫度25℃，濕度60％ 場務氮氣源頭閥門開啟 場務冷卻水水壓維持約在2Bar 冰水機機台”ON”，循環”ON” N2及CDA壓力計指針指向”綠色”(共4個) 開啟製程氣體所需要之氣體閥門。(牆上及櫃內) ※O2/Ar牆上兩個藍色閥門，機台櫃內2個圓閥 BCl3/Cl2源頭閥門及機台櫃內2個圓閥 開啟Icp及Bias的Power generator電源 開啟Rotary Pump(迴轉幫浦)，Breaker “ON” 開啟電腦電源，將鑰匙順時針旋轉。(登入電腦密碼:1412) 進入到Window桌面點選”Enther”程式進入(須等待10~20min，登入密碼:C4D3) 進入到系統操作介面視窗後，並點選”Manual Mode”(手動模式) 進入主畫面 ※閥門紅色代表”OPEN”，危險之意；閥門綠色代表”Close”收回動作，安全之意。 打開V22(在Run製程前打開即可)，Mode點選為”POSITTION MODE”且”PRESSURE(0~1000MT)”設定為1000MT。 ※PRESSURE設定為1000時，執行”OFF