新興科技之薄膜技術應用，依據光波分類（中央大學薄膜.docVIP

薄膜技術Thin film Technology 一、 何謂薄膜技術 薄膜技術是目前最流行的表面處理法之一，可應用於裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半導體元件等之表面處理，泛指在各種金屬材料、非金屬材料、超硬合金、陶瓷材料、奈米材料及晶圓基板的表面上，成長一層同質或異質材料薄膜的製程，以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性，而加以使用。依據沈積過程中，可以區分為物理氣相沈積(Physical vapor deposition；PVD)通常稱為物理蒸鍍及化學氣相沈積(Chemical vapor deposition；CVD)通常稱為化學蒸鍍。隨著沈積技術及沈積參數差異，所形成薄膜的組織，可分為「單