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- 2017-03-10 发布于湖北
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几何量电子传感测量 干涉法测距 1.激光干涉测量原理 激光输出可被视为正弦光波。 从激光头射出的光波有三个关键特性: 波长精确已知,能够实现精确测量 波长很短,能够实现精密测量或高分辨率测量 所有光波均为同相,能够实现干涉条纹 激光干涉仪是一种所谓“增量法”测长的仪器, 它是把目标反射镜与被测对象固联,参考反射镜固定不动, 当目标反射镜随被测对象移动时,两路光束的光程差即发生变化,干涉条纹也将发生明暗交替变化。 若用光电探测器接收,当被测对象移动一定距离时,条纹亮暗交替变化一次.光电探测器输出信号将变化一个周期,记录下信号变化的周期数,便确定了被测长度。 氦氖激光管 ? LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写,意为通过受激发射线的放射达到光的放大,即激光 大多数现代位移干涉仪都使用氦氖 (HeNe) 激光管。这些激光管具有633纳米 (nm) 的波长输出 当高压连接在阳极和阴极之间时,混合气体被激发,形成激光光束 当激光光束在两个反射镜之间来回共振时激光光强被放大 一些光透射出阳极反射镜,成为输出激光光束 迈克尔逊干涉仪 光程差每变化一个波长,干涉条纹就明暗交替变化一次。 激光外差干涉测长技术 直流干涉仪:前置放大器为直流放大器。动镜从静止→运动→静止;干涉条纹变化频率从0 →最大值→0;光
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