第十章扫描电镜题材.ppt

第二篇 电子显微分析 第十章 扫描电子显微镜(SEM） ◆电子束与固体样品作用时产生的信号 ◆扫描电镜构造及工作原理 ◆ SEM主要性能 ◆表面形貌衬度原理及应用 ◆原子序数衬度原理及应用 ◆扫描电镜样品制备 §10.1 电子束与固体样品作用时产生的信号 §10.1 电子束与固体样品作用时产生的信号 1.背射电子 弹性背射电子:与原子核作用,散射角大于900,无能量损失. 非弹性背射电子:与核外电子作用,方向能量均改变,散射角大于900. SEM利用背射电子反映试样表面形貌、微区成分分布. 2.二次电子 入射电子与原子核外电子碰撞,将核外层电子激发脱离原子核,成为自由电子.(二次电子). 由于其能量小.只能自表面逸出,所以SEM利用其作形貌分析 §10.1 电子束与固体样品作用时产生的信号 3.吸收电子 入射电子进入样品,经多次弹性(非)散射,能量损失殆尽,被样品吸收的电子 因ia=i0－(ib+is) ，吸收电子也可作SEM的测试信号 4.透射电子 试样厚度小于入射电子的穿透厚度,从试样背面射出;如试样厚度小于20nm,主要是弹性透射,成像清晰,试样厚,出现非弹性透射电子,成像差.透射电子是透射电镜的物理信号 §10.1 电子束与固体样品作用时