第七单元 EMPA.pptVIP

2、电子探针分析的特点 微区、微量、高空间分辨率 简便、快速 使用范围广、准确度高 有多种分析方式：表面形态分析、定性分析、定量分析、线分析、面分析 不损坏样品 3、电子探针在地质学中的应用 固溶体矿物成分定量分析（如：长石种类鉴定和长石牌号测定 闪锌矿成分测定 自然金成分测定） 矿物温度、压力计算 矿物环带成分变化 矿物包裹体鉴定、微小矿物颗粒成分分析和鉴定 （2）电磁透镜 5、 电子讯号探测系统 6. 真空系统 第三节 电子探针微区分析的基本原理 特征X射线 的波长：决定于初态和终态的能量差 hν = Ei - Ef = hc/λ λ= 12396/(Ei - Ef ) [nm] 3.3 波谱仪 电子探针的主要功能: 通过检测特征X射线的波长和强度确定元素的组成和精确含量 正比计数器的死时间或恢复时间一般在2*10-7S的数量级 计数器高压越高 正离子到达阴极的时间越短死时间或恢复时间也越短 入射的X射线的能量越高电离产生的正离子也越多 所需的恢复时间也越长 （4）分光晶体的选用 第五节 电子探针分析标样选用 基本要求：成分一致均匀的稳定固体 一、标样的种类 1、纯金属标样（含量大于99.99%) Mg, Al, Si, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Nb, Ta, Zr, Hf, Au, Ag, W, Te, Bi, Pt 2、合金标样 3、化学计量化合物标样 4、天然矿物标样 5、合成玻璃标样 二、天然矿物标样的制备 可用于矿物标样必须具备的条件 （1）矿物是均一的 （2）各元素在样品中是均匀分布的 （3）样品在电子束的作用下是稳定的 （4）化学成分要尽可能简单，实际成分接近理想成分 标样成分：（1）通过权威分析方法确定；（2）通过两种或多种不同、独立的、可靠的分析方法综合确定；（3）通过几个实验室的综合对比分析确定 矿物不能有固溶体出溶、不能有环带、不能有包裹体 标样的提供由全国微束分析标样委员会经国家质量论证统一提供 三、选用标样的标准 （1）尽可能选用与待测样品的结构、成分相同的标样 （2）如成分不同 尽可能选用与待测样品结构相同的标样 （3）分析造岩矿物时 尽可能部选用纯金属标样 第6节 应用举例 张建新等， 柴北缘鱼卡榴辉岩的p-T演化历史。岩石矿物学杂志，2005年，No4: 245-254 按检测时是否需要分光晶体，X射线检测仪分为两种： 能谱仪 (SEM、TEM用得较多) 波谱仪 (EPMA用得较多、尤其是定量分析时) 波谱仪与能谱仪的比较： 能谱仪优点： 1. 所有能量X射线同时检测 2. 灵敏度高 3. 结构紧凑 能谱仪缺点: 1. 分辨率差 2. 信噪比差 3. Be窗 4. 需液氮 3.4 波谱仪的工作原理 波谱仪由分光晶体、X射线探测器、精密机械系统和记录显示系统组成 分光晶体 X射线探测器 精密机械系统 记录显示系统 Bragg 公式 n=1的一级衍射是主要的衍射线 d: 由分光晶体的特性决定 λ: 由样品中的元素决定 (莫塞来定律) 对Bragg公式的解读： 对一级衍射 当d值确定时 λ是θ的函数 即分光晶体转动到特殊的角度时 能检测到特征元素衍射的特征波长的X射线 θ的理论转动角度为0~90度 因此 理论上每块分光晶体能检测到的λ值范围为0~2d 实际上 θ角的大致范围为15~65度 分光晶体 经过弯曲的和磨制的矿物晶体 是人工制备的按一定规律排列的分子薄膜晶体或人工蚀刻的光栅 对分光晶体的要求： 衍射效率高、衍射峰强、分辨本领高、峰/背比高、易加工、易保存 电子探针分析仪中常用分光晶体 布拉格公式θ角 莫塞来定律 为了使波谱仪尽可能多的分析周期表中的元素 必须配备几种面网间距不同的晶体 电子探针通常配有2~5道谱仪 每道谱仪中装有两块可以交换的晶体 波谱仪道数越多 分析速度越快 探测器 用来检测分光晶体衍射所色散的单一波长的X射线信号强度 一般采用正比计数器、盖革计数器、闪烁计数器来探测 正比计数器的工作原理 在一定的电压下 进入计数器的X射线光子与工作气体产生非弹性碰撞而使其电离 产生初始离子-电子对 一个X光子产生的离子-电子对数量与光子的能量成正比 与工作气体电离电位成正比 每个初始离子-电子对的电子在向阳极移动的过程中被高压加速 诱使其他原子电离 如此继续进行 即产生连锁反应 在瞬间使电子数目增加2