传感器与检测技术第二单元.pptVIP

* * 第2章 应变式传感器 应变式传感器是电阻传感器的一种。 电阻传感器种类繁多，应用广泛， 其基本原理是将被测物理量的 变化转换为电阻值的变化，再经 过相应的测量电路而最后显示被 测量值的变化。 电阻式传感器包括：电位器式、应变式、压阻式、热电阻等 电阻元件 非电量 电阻变化 被测量：力、荷重、应变、位移、速度、加速度 2.1 应变式传感器工作原理 应变式传感器是由弹性元件、电阻应变片及外壳等主要部件组成的用来进行测量的装置，其中电阻应变片是应变式传感器的核心部件。 1.定义 应变式传感器的工作原理是基于电阻应变片的应变效应。 2.原理 等式两边微分 式中： — 电阻的相对变化； — 电阻率的相对变化； — 金属丝长度相对变化。 — 金属丝横截面积的相对变化； 称为金属丝长度方向的应变或轴向应变； 由于 = 为金属丝半径的相对变化，即径向应变。 由材料力学知道，轴向应变ε与径向应变εr 存在下列关系： 式中：μ—金属材料的泊松系数。 金属材料电阻率相对变化与其体积相对变化之间有下列关系： 式中：C — 金属材料的某个常数，例如，康铜（一种铜镍合金）丝， V — 体积。 式中：K—对于一种金属材料在一定应变范围内为—常数。称为金属丝的应变灵敏系数 或 应变片的测试原理：使用应变片测量应变或应力时，是将应变片牢固的粘贴在被测弹性试件上，当试件受外力变形时，应变片的金属敏感栅随之相应变形，从而引起应变片电阻的变化。 如果用测量电路和仪器测出应变片的电阻值变化ΔR， 可得到被测试件的应变值ε，而根据应力-应变关系: 式中：E — 试件材料弹性模量； σ — 试件的应力； ε — 试件的应变。 计算可得应力值σ。 2.2 应变式传感器的结构类型及特性 2.2.1应变式传感器结构类型 1.应变式传感器的结构 电阻应变片主要：由电阻丝、基片、覆盖层和引出线四部分组成。 1引出线；2覆盖层；3基片；4电阻丝 2.应变式传感器的类型 ①按应变片敏感栅所用的材料不同，划为 金属应变片 和半导体应变片两大类。 金属应变片分为体型（箔式、丝式）和薄膜型； 半导体应变片分为体型、薄膜型、扩散型、PN结型及其它型。  ②按应变片的工作温度不同，分为 常温应变片（-30～60℃）、中温应变片（60～300℃）、 高温应变片（300℃以上）和低温应变片（低于-30℃）等。 ③按应变片的用途不同，分为一般用途应变片和特殊用途应变片。 (1)电阻丝式应变片 电阻丝式应变片的敏感元件是丝栅状的金属丝，金属丝弯曲部分可制成圆弧（U型）、锐角（V型）或直角（H型），如图2.3所示。 图2-2几种常见的电阻丝式应变片 (a)U型；(b)V型；(c)H型 (2)箔式应变片 箔式应变片的工作原理和结构与丝式应变片基本相同，但制造方法不同。 箔式应变片的优点：可制成任意形状的敏感栅；表面积大，散热性能好，可以允许通过比较大的电流；蠕变小，疲劳寿命高；便于成批生产且生产效率比较高等。 (3)薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空溅射或真空沉积的方法制成的。它可以将产生应变的金属或合金直接沉积在弹性元件上而不用粘合剂，这样应变片的滞后和蠕变均很小，灵敏度高。 (4)半导体应变片 半导体应变片的工作原理是基于半导体的压阻效应。 压阻效应是指对半导体施加应力时，半导体的电阻率会发生改变的现象。 半导体应变片由硅条、内引线、基底、电极和外引线等五部分构成。 硅条是感压部分；内引线连接硅条和电极，通常用金属丝制成；基底起支撑和绝缘作用，采用胶膜材料；电极用康铜箔；外引线用镀银铜线。 图2.5半导体应变片结构图 1硅条；2内引线；3基底；4电极；5外引线 2.2.2 应变式传感器的特性 1.应变片电阻值(R) 应变片在没有粘贴及未参与变形前，在室温下测定的电阻值称为初始电阻值(单位为Ω)。 应变片阻值有一定的系列，如60Ω、120Ω、250Ω、350Ω和1000Ω，其中以120Ω最为常用。应变片电阻值的大小应与测量电路相配合。 2.灵敏系数(K) 金属电阻丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，但金属丝做成应变片后，由于基片、粘合剂以及敏感栅的横向效应、电阻应变特性与单根金属丝将有所不同、必须重新用实验来测定。 3.横向效应 应变片的灵敏系