- 1、本文档共25页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
电容式(改)
4 电容式传感器 4.1 电容传感器的工作原理及类型 一、基本工作原理(平行板电容器) 4.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 一、输出特性(变极距型) 二、灵敏度 (电容变化与引起该变化的可动部件的机械位移增量之比) 三、减小非线性误差措施 4.3 电容传感器的特点及等效电路 一、特点 二、等效电路 4.4 电容式传感器的设计要点 4.5 电容式传感器的测量电路 * 电容式传感器是将被测非电量转换成电容量变化的一种传感器。结构简单,可实现非接触测量。可以用来测量压力、力、位移、振动、液位等参数。 但电容式传感器存在泄漏电阻和非线性等缺点给它的应用带来一定的局限。 电容量C + _ d A 平行板电容器 电力线 边缘效应:当平行板的间距d 远小于平行板的尺寸(半径、长和宽等)时,对精度要求不是特别严格的条件下,边缘效应即可忽略。 二、类型 ε、A、d都直接影响着电容量C的大小。如果保持其中两个参数不变,而使另外一个参数改变,则电容量就将发生变化。 ΔC与Δd成非线性关系。 1、变极距型电容式传感器 测量微小线位移,可测微米级的位移 2、变面积型电容传感器 测量角位移或较大线位移 ΔC与ΔS成线性关系。 3、变介电常数型 测量液体高度,还可测量温度、湿度等等 这种电容可以看成是CA、CB两个电容的并联。设板极宽度为b 则: C与位移x 成线性关系。 电容初始值为C0,当极板有一个增量Δd时,电容C为 : Δd/d0 C 1 C0 不过零点 电容C为: 将Δ C用泰勒级数展开,得 忽略高次项的条件:Δdd0,即只有比值?d/d0很小时才可认为是接近线性关系。这就意味着使用这种形式传感器时,被测量范围不应太大 。 其中线性项为: ,其它为高次非线性项。 忽略高次项后,理想的输出关系为: 对于平板变极距线位移传感器灵敏度为: 1、增大极板间的初始距离d0,以保证比值?d/d0不致过大。但会带来灵敏度下降的缺点,同时也使电容传感器的初始值减小,寄生电容的干扰作用将增加。 2、常采用差动式电容传感器 动板极 定板极 差动电容传感器 忽略高次非线性项灵敏度为: 差动结构提高了灵敏度,并且减小了非线性误差。 优点: ①温度稳定性好;②结构简单、适应性强;③动态响应好;④可以实现非接触测量,具有平均效应 缺点: ①输出阻抗高,负载能力差;②寄生电容影响大;③输出特性非线性 1、C ――传感元件的有效电容。 2、L ――由电容器外部引线电感。 3、R ――串联损耗电阻,主要是引线电阻。 4、Rp ――并联损耗电阻,它代表极板间的泄漏电阻和介质损耗。Rp在低频时影响较大,频率升高,容抗减小Rp影响减弱。 5、CP ――A、B两端的寄生电容。 高频工作时,AB两端的等效电容: 对其两边的求偏微分得 因为灵敏度 ,所以上式两边都除以 ,得 即 以上公式说明:当传感器在高频下工作时,每当激励频率改变、更换了传输电线或者做了一些其它电路上的调整,都要对测量系统进行重新标定。 k是电容传感器本身的灵敏度 一、克服工作环境的影响 工作环境的影响主要指温度和湿度造成的影响,如何克服这种影响呢? 1. 电极——薄,温度系数低,密封保护 2. 支架——高强度,高绝缘,低吸潮 3. 电介质——材料介电常数的温度系数接近0,不受湿度影响 4. 结构——差分结构,等位环 5. 电源——合适频率 二、减小和克服边缘效应 1. 增大极径与极间距的比——容易击穿,限制测量范围 2. 将电极做薄,减小边缘电场 3. 利用等位环结构将边缘电场外移 一、调频电路 利用参数调频法,把电容式传感器作为振荡回路的一部分。当输入量使电容发生变化时,振荡器的振荡频率就发生变化,通过鉴频电路将频率f 的变化转为振幅的变化。 可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小,但此时系统是非线性的,不易校正,因此必须加入鉴频器,将频率的变化转换为电压振幅的变化。 二、交流电桥电路 1、普通交流电桥:C为电容传感器的电容,Z’为等效配接阻抗,C0和Z分别为固定电容和阻抗。 2、紧耦合电感臂电桥 该电路的特点是两个电感臂相互为紧耦合,它的优点是抗干扰能力强,稳定性高,寄生电容影响极小。 3、变压器式电桥: 在放大器输入阻抗极大的情况下,输出电压与位移呈线性关系。 三、双T型电桥 当u为正半周时,此时
文档评论(0)