基于子孔径拼接的Hindle球检测法.pdfVIP

第 24卷第 11期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．24，No．11 2012年 11月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAMS NOV．，2012 文章编 号： 1001-4322(2012)11-2555—05 基于子孑L径拼接的Hindle球检测法 闫锋涛 ， 范 斌 ，侯 溪 ， 伍 凡 (1．中国科学院光 电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘 要 ： 为了能够准确获取基于子孑L径拼接 的Hindle球检测大 口径双曲面镜 的Hindle球参数 ，研究 了 Hindle球检测 凸双 曲面镜 的理论模型，并从几何光学人手 ，讨论 了基于子孔径拼接 的 Hindle球检测法 的系统 结构 ，推导了符合子孔径拼接要求的小 口径 Hindle球 的参数计算式 。对一个 凸双 曲面镜进行了在不 同测量环 带数 目下 的基于子孔径拼接 的Hindle球检测法和经典 Hindle球检测法的 Hindle球参数对 比。结果表 明该 Hindle球检测方法使 Hindle球参数更合理 。 关键词 ： 光学检测 ； Hindle法 ； 子孑L径拼接 ； 非球面 ； 几何光学 中图分类 号： TQ171．65 文献标 志码 ： A doi：10．3788／HPLPB2O122411．2555 卡塞格林及 R-C光学系统在天文及空 间光学中有着越来越广泛的应用 口]，其次镜均为凸双曲面。随着 光学加工和检测技术的不断发展 ，其 口径和相对 口径越来越来大 ，而大 口径凸双曲面镜的高精度面形检测在技 术和成本上一直存在较大的挑战。传统检测方法均需要一些辅助光学元件 ，国外常用的辅助光学元件主要有 非球面样板 口]、CGHl4和 Hindle球面[5等。极大型望远镜次镜检测 时由于直接制造 口径巨大 的辅助元件非 常困难 ，所以在检测过程 中引入了子孔径拼接方法[6。。。LSST和 TMT望远镜超大 口径 的凸非球面研制过程 中，考虑到超大 口径计算全息板和非对称在计算全息板制造上 的困难 ，美国S0ML提出了采用 1m 口径非球 面样板的抗振菲索干涉仪和子孔径拼接技术组合来检测超大 口径凸非球面次镜的方法 口 。在 VST和 VIS— TA望远镜次镜 的研制过程中，俄罗斯 LZOS采用 串接两个 Hindle球面镜的方法，沿着光轴 的方向放置两个 中心通光 口径不同的Hindle球面镜实现对次镜 内外不 同环形 区域的分段检测_l】。经典的 Hindle球检测 凸 双 曲面镜在理论上提供了一种简单的无像差点检测法，然而它需要的辅助球 面镜的口径要远远大于被测件 的 口径[5。Simpson—Hindle检测法 将 Hindle球靠近被测件 ，这样使得 Hindle球面镜变成 口径略大于被测件 口径 的Hindle球壳，虽然 Hindle球壳的 口径减小 ，但是对 Hindle球壳 的材料均匀性提 出了更高 的要求。本 文研究了基于子孔径拼接的Hindle球的检测系统 ，在深入探讨该检测系统结构组成的同时，通过实例计算 ，明 确了该方法中Hindle球参数的优越性。 l 基于子孔径拼接的 Hindle法检测原理 基于子孔径拼接 的Hindle法检测基本原理 如图 1所示。首先调整好光路，使干涉仪的出射 波前经过 次镜反射 到达 Hindle球面 ，在经过 Hindle球面反射后原路返 回至干涉仪 中，用干涉 方法获得次镜的一块子孔径的面形信息 ，然后绕 光轴旋转次镜得到次镜上不 同分布位置的子孔 Fig．1 ModelforHindlespheretestingbasedoilsub—aperturestitching 径 ，子孔径覆盖整个次镜 口径 时停止。利用最小 图 1 基于子孔径拼接的 Hindle球检测模型 二乘法拟合 出每个子孔径的相对调整误差和系统的装调误差 ，从测量数据中剔除此类误差 ，子孔径测量数据统 一 到相 同坐标系中就可以得到全 口径面形信息。 2 检测系统模型计算 2．1 基于子孔径拼接的 Hindle球参数计算 在凸双曲面镜参数已知的