第3章_压力检测1-王威立终稿.ppt

* 压力在工业自动化生产过程中是重要工艺参数之一。因此，正确地测量和控制压力是保证生产过程良好地 运行，达到优质高产、低消耗和安全生产的重要环节。本章在简单介绍压力的概念及单位的基础上，重点介绍应变式压力计、压电式压力传感器、电容式压力传感器和霍尔式压力计等的测压原理及测压方法，并以应变式压力测量系统和电子扫描多点压力测量系统为例简述测压系统的组成及应用。 * 在测量上所称的“压力”就是物理学中的“压强”，它是反映物质状态的一个很重要的参数。 * 在应变式压力计是电测式压力计中应用最广泛的一种。它是将应变电阻片（金属丝式、箔式或半导体应变片）粘贴在测量压力的弹性元件表面上，当被测压力变化时，弹性元件内部应力变化产生变形，这个变形应力使应变片的电阻 产生变化，根据所测电阻变化的大小来测量未知压力。 * * 粘结剂的性能及粘结工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数、线性以及它们受温度影响的程度。 * 用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度(包括被测试件的温度)影响很大。 * * 此方法简单易行，能在较大温度范围内进行补偿。缺点是条件不易满足，尤其是条件③。在某些测试条件下，温度场梯度较大，R1和R2很难处于相同温度点。 根据被测试件承受应变的情况，可以不另加专门的补偿块，而是将补偿片贴在被测试件上，这样既能起到温度补偿作用，又能提高输出的灵敏度。 * 应变片将被测试件的应变ε转换成电阻的相对变化 △R/R ，还须进一步转换成电压或电流信号才能用电测仪表进行测量。通常采用电桥电路实现这种转换。根据电源的不同，电桥分直流电桥和交流电桥。 * 压电式传感器以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下电介质的表面上 产生电荷，从而实现对压力电测的目的。 * 图 硅氧离子的排列示意图 (a) x y (b) + x y + + - - - 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图（a）所示。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL（q为电荷量，L为 正负电荷之间的距离），此时 正负电荷中心重合，电偶极矩 的矢量和等于零，即 P1+P2+P3＝0 所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。 (b) Fx0 x + Fx y + - Fx - P1 P2 P3 - - + + - + + + - - 当晶体受到沿x方向的压力（F x 0）作用时，晶体沿x方向将产生收缩，正、负离子的相对位置随之发生变化，如图（b）所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩P1减小，P2、P3增大，它们在x 方向上的分量不再等于零: (P1+P2+P3)x0 在y、z方向上的分量为: (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z= 0 当晶体受到沿x方向的拉力（Fx ＞0）作用时，其变化情况如图（c）所示。电偶极矩P1增大， P2、 P3减小，此时它们在x、y、z三个方向上的分量为 (P1 +P2 +P3) x0 (P1+ P2+ P3)y =0 (P1 +P2 +P3)z =0 在x轴的正向出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。 (c) Fx0 y x + + + Fx Fx P2 P3 P1 + + + - - + - - - - 可见，当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx 作用时，它在x方向产生正压电效应，而y、z方向则不产生压电效应。 晶体在y轴方向受力Fy作用下的情况与Fx 相似。当Fy ＞0时，晶体的形变与图（b）相似；当Fy ＜0时，则与图（c）相似。由此可见，晶体在y（即机械轴）方向的力 Fy作用下，在x方向产生正压电效应，在y、z方向同样不产生压电效应。 晶体在z轴方向受力Fz的作用时，因为晶体沿x方向和沿y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用下，晶体不产生压电效应。 作用力与电荷的关系 （a） y x z O x a z y b c （b） 若从晶体上沿y方向切下一块如图（a）所示的晶片，当沿电轴x方向施加应力σx时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体线性弹性范围内，极化强度P11与应力σx 成正比。 即： d11——压电系数。下标的意义为产生电荷的面的轴向及施