SUNIST装置的真空系统.doc

SUNIST装置的真空系统 何也熙 2000年8月 真空系统包括真空获得、真空室总压和剩余气体分压测量、真空室壁处理和充气等系统。 在认识第一壁对等离子体放电的影响及如何调控这一影响方面，未知因素极多，这已成为磁约束聚变研究中的一个‘永恒的主题’。在规划SUNIST的真空系统时这也同样应该成为我们注意的重点。聚变装置真空抽气机组在超高真空段要有尽量大的抽速（特别是对最危害等离子体放电的水、CO等）和尽量高的本底真空度，有利于保持清洁的第一壁表面状态、较大范围的调节壁的再循环特性，同时在高于10-1 Pa的高气压段也应有尽量大的抽速（特别是对水，碳氧化物等），才能够确保在第一壁放电清洗过程中把脱离器壁的杂质气体尽量多的排出。 充气系统按控制程序（或通过气压、或密度信号的反馈）向装置提供高纯工作气体，一般是氢、氘、氦和硼或硅化物，作为等离子体实验的工作气体或放电处理的介质及沉积表面硼或硅化薄膜的气体。在装置建设和运行的初期，至少要配备氢和氦两种气体，最好能够建立现场薄膜沉积手段。 壁处理解决的是减少等离子体中轻杂质含量，尽量降低等离子体的有效Z。其主要手段包括：真空烘烤、辉光放电清洗、放电锻练和硼或硅化薄膜的沉积。长时间的真空烘烤和辉光放电是控制真空室材料整体和表面杂质含量的必要的处理手段；放电锻练着重清洗等离子体经常直接接触的壁表面，使装置能够尽快地进入重复放电实验状