石英晶体的基本常识概要.pptVIP

(一)、石英晶體的基本常識 (1)、 石英晶體俗稱水晶，成分是Sio2，是良好 的光學材料，而且也是最重要的壓電材料 在長溫下不同的溫度時，石英晶體的結構是不同 的，溫度低於573℃是a石英晶體，溫度在 573 ~ 870℃時是?石英晶體，溫度在870 ~ 1470℃ 時是磷石英，溫度超過1470℃時變成方石英 2)、晶體可以是自然的，也可以是人工培養的 3)、培育良好的單晶體，外型上最大的特徵是晶 面有規則的配置 4)、石英晶體的晶面共30個，分成五組 六個m面(柱面)，六個R面(大凌面)， 六個r面(小凌面)，六個s面(三方雙堆面)， 六個x面(三方偏方面) (二)、石英晶體的一般性質 1)、石英晶體的密度為2.65g/cm3，硬度為莫氏硬度7 2)、石英是一種良好的絕緣材料 3)、膨脹係數很小 4)、在溫度超作573℃時，石英晶體內部產生 較強的機械應力，可能造成劣縫或雙晶 壓電效應： 電介質由於外界的機械作用，(如壓縮?伸拉)而在其內部產生極化，產生表面電荷的現象，叫壓電效應 如果將具有壓電效應的介質至於外電場中，由於電場的作用，會引起介質內部正負電荷中心位移， 而這一位移產生效應為逆壓電效應 然由於其結構的特殊性，不是任何方向都存在壓電效應 例如： 當石英受到沿x方向的利作用時，x方向產生壓電效應，y、z方向不產生 當石英受到沿y方向的利作用時，x方向產生壓電效應，y、z方向不產生 當石英受到沿z方向的利作用時，則不產生壓電效應 因此又稱x軸為電軸，y軸為機械軸 三)、培育石英晶體的關鍵設備 人工水晶是在特殊剛製的長桶型壓力鍋中，以高溫高壓環境的水熱合成法，由種子水晶培養而成的，其品質依溶解液的種類濃度 充填量，培養溫度，生長域與溶解之溫度差等條件而異 設計壓力：1000 ~ 1500atm 設計溫度：一般結晶溫度都採用300℃ ~350℃之間，培養區的溫 度在380℃左右 人工水晶的品質是決定石英晶體性能最基本的要素，對於人工水晶Q值得要求： 1)、民生用石英晶體150萬以上 2)、通信用石英晶體180萬以上 3)、高穩定用石英晶體220萬以上 四)、石英晶體的機械振動 1)、伸縮振動 2)、厚度伸縮振動 長度伸縮振動：晶片的長度大於寬度和厚度，由於電極面與X軸垂 直，所以只有X方向的電廠E1的作用 3)、彎曲振動 4)、面切變振動 (五)、石英晶片的製造 石英晶體製造的流程為： 石英晶體的原料選擇 定向線切 切割 研磨(拋光) 流程簡介如下所示 六)、振動模式的偶合： 我們再討論長度伸縮石英晶片時，忽瑞了其寬度與厚度，認為只有E1通過d‘12產生長度伸縮振動，而實際上當沿X方向施加電場時，可能產生三種應變，及X與Y的伸縮應變，YZ面上的切應變。 雖然我們設計時長度大於寬度和厚度，助陣洞視長度方向的伸縮振動，而其他兩種振動卻也是實際上存在的，那些不需要的震動模式 ，我們通常稱為寄生振動 長度伸縮振動石英晶片，當邊比為W/L = 0.23時，會出現依強的彎曲振動偶合 七)、石英晶片質量對石英諧振器性能的影響 7-1)、石英晶體含有缺陷影響頻率，頻率溫度曲線和電阻 7-2)、石 英晶片表面光潔度影響老化率和等效電阻 造成平面度不好的主要原因是機械加工不當 1)，壓力過大、砂號過粗都會使石英晶片表層含有較深的裂痕，以致在後面的加 工很難去除 2)、磨料使用不合理，加工量留的不充分 3)、磨盤不平，磨料本身不純，粒度不均勻等都會造成光潔度不好的表面 4)、腐蝕時間過長也會造成石英晶體潔度不好，甚至有貫穿性的裂痕 7-3)、石英晶片表面平行度和平面度影響活力 石英晶片表面不平使電阻值增大，活力下降甚至停振寄生振動增多 7-4)、石英晶片切角錯誤和誤差大影響頻率，頻率溫度特性 7-5)、石英晶片切角錯誤引起頻率溫度特性改變，零溫度點變化，頻率不符，石 英晶片邊比不當會使寄生振動的偶合加強 * 晶棒選擇(倒角) 晶棒貼付(X-RAY角度) 隔片厚度檢查 刀片組立 刀架組立 切斷 切斷完成 中間切斷(半晶片) 粗磨 晶片貼附 晶片角度