厚积薄发十年磨一剑的-河北省科学院.doc

厚积薄发 十年磨一剑的 激光所等离子体研究室 河北省科学院激光研究所等离子体研究室，主要从事低温等离子体和CVD金刚石膜技术的研究与开发，先后承担了国家“863”计划“八五”、“九五”、“十五”期间“金刚石膜制备关键设备研制”、“大面积高光学质量金刚石膜的制备、加工及应用”等课题以及承担并完成了多项省重大攻关项目和省自然基金项目。近三年来，该室荣获河北省科技进步三等奖2项；发表科技论文18篇；经营收入连年翻番。从1991年开始做CVD金刚石项目，18年的潜心研究，18年的拼搏进取，他们付出了大量的心血和汗水。他们的艰辛经历和体会是： 一、抓机遇，迎挑战，勇敢担当国家“863”计划重大攻关项目。人造金刚石的办法很多，仅化学气相沉积（CVD）金刚石膜的方法就有十几种。他们现在所采用的是直流等离子体喷射化学气相沉积（DC—PJCVD）技术，在二十世纪九十年代初期该技术在国内还没有人尝试。1993年北京科技大学的在读博士李惠琪通过等离子体切割机的宣传广告了解到他们在等离子体技术方面的优势，亲自到石家庄，希望能通过切割机的改造，作为“直流等离子体喷射化学气相沉积的方法制备金刚石”的试验点。接洽的第二天即和他们签订了合作协议。于是，他们义无反顾的涉足了一个陌生的领域，但也充分证明了他们勇于迎接挑战，敢于尝试的信心，更说明了科技工作者对科研的敏感性，和时刻保持的对前端科研的感知。 他们凭着多年研制等离子体切割机的技术功底和一些简单的国外文献、图片，开始了夜以继日的探索和研究。经过艰苦努力，终于装备了第一台直流等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜制备设备，并通过该设备制备出第一块直径为30mm的金刚石膜。这台设备，拥有完全自主知识产权。等离子炬的研制成功是该设备的关键，“一种等离子炬”在1998年取得了国家发明专利证书。他们研制的炉体采用气体循环方式是一大创新，大大节约了气体用量，在如何实现气体平衡方面也属独创，相比国外同类产品装置最简化、最实用。突破和成功，极大的鼓舞了研究室科研人员的士气和信心。 1994年8月25日，在北京召开的“金刚石膜制备关键设备”立项论证会上。当第一方案已确定由中科院合肥等离子体研究所承担。会议将要结束时，被其他专家带入会场本没有发言资格的研究室李国华同志站了起来，很坦然的介绍了他们的科研情况和所取得的成效，并恳请专家给他们一个机会，一个投标的机会，一个参与竞争的机会。被其恳切的发言和切实的工作所打动，“863”项目专家组批准河北省科学院激光所作为该项目的预研单位参与投标。一个名不见经传的地方院所，在这关键时刻站了起来，他们很大胆，很自信，很坦诚，很恳切。这决定了金刚石项目的命运。可谓好事多磨。1995年5月6日，国家“863”项目专家组来石对他们的项目进行验收评审的前一天，他们的设备突然出现了故障，等离子炬无法放电。全体科研人员连夜寻找原因，一直到了6号的早晨还没有找到毛病，当时是心急如焚。经过努力查找，故障终于被排除，原因是气路被油堵塞。这时距专家组到达现场仅剩3个多小时。最后验收一切顺利，专家很满意。最终，他们夺得了“金刚石制备关键设备的研制”“863”计划项目。当时成为了河北省第一家承担“863”计划项目的单位。 获得“863”计划的支持后，他们分组攻关，开始研制功率为100W的制膜设备。经过艰苦的研制，用了半年的时间装备成功，并可制备直径为100mm的金刚石膜。2006年1月30日林兰英、师昌绪、蒋民华等六位院士来到现场组织验收。通过察看制备过程，金刚石膜产品，观看照片、录像，最后专家委员会给予了他们很高的评价。高功率直流等离子体喷射CVD设备的研制成功，使他们成为继美国两家公司之后，第三家能独立设计、制造同类设备的单位。它不仅为金刚石膜工具和热沉应用提供了备选的工业化制备技术，而且为今后的光学应用奠定了基础。通过承担“863”项目，让他们自豪的站上了科研的高地，走进了国际先进行列，处于国内领先水平，为科学院、为激光所赢得了声誉，为金刚石项目争取后续资金支持创造了有利条件。承担“863”计划以来，金刚石项目先后从国家、省及科学院获得400余万元的资金支持。该项目及其相关课题还先后获得了六个省部级科技进步奖，其中1997年度获河北省科技进步一等奖。后来，孙振路所长激动地说：“没有李国华老师的勇气、信心、创新精神和强烈的责任感就没有这个项目，就没有这个团队”。 二、坚忍不拔，共克艰难，走上产业化道路。他们坚定的信奉，“科研无坦途，产业更艰难”。产业化的思路，他们早在1996年夏天与北科大签署的合作协议中已提了出来。1998年获得省科技进步一等奖以后，就考虑具体落实。当时他们的想法是实现两个产业化：一是设备产业化；二是金刚石膜产品产业化。1999年开始出售金刚石拉丝膜，当时河涧地区应