表面14技术分析.ppt

例：PCVD 沉积TiN制备“瞬间测温探头” 1—气缸 2—活塞 3—连杆 4—曲轴 5—气缸头 6—进气门 7—喷油嘴 8—排气门 空气和燃油输入气缸，活塞压缩混合气燃爆，燃气膨胀推动活塞向下运动对外做功。活塞通过连杆与曲轴连接，通过曲柄连杆机构转动曲轴，将活塞的上下运动转换成曲轴的圆周运动，实现机车运行。 蓝宝石探头镀膜 光纤 例：PCVD 沉积TiN制备“瞬间测温探头” 背景：发展大功率柴油机急需知道气缸柴油燃爆瞬间气缸内的温度；国外提出黑体辐射测定方案 原理：蓝宝石透明材料+镀膜(探头)气缸内气体燃爆瞬间产生大量辐射能被薄膜快速吸收，高温变成光信号，通过透明蓝宝石传给光纤，再传给光电转换器、转换为电信号。 PCVD技术应用 出问题：国外镀白金作为吸收辐射；结合力问题；不能使用 辐射能与温度四次方正比，根据辐射定律求出温度 理论计算TiN吸收辐射能效果也很好；要求PCVD沉积 高绝缘材料如何沉积？ Ti、N离子在导体沉积 Ti、N离子在绝缘体沉积 PCVD蓝宝石上沉积TiN薄膜 蓝宝石探头置于铜网中，吊挂在阴极上Ti、N离子网上获电子； 试验：吸附辐射能效果好 第2页，共 19页 用途2“等离子体隐身” 等离子体多种用途： 用途1：等离子体引入化学反应，利用高能粒子与反应物原子分子碰撞，使原子分子激发、解离，形成高能亚稳粒子，大幅度降低反应温度（PVVD） 用途2：雷达波在等离子体气体中发生反射,折射与吸收. 飞机发动机上装“探针”加弱电场,稀薄气体中放电,等离子体包围飞机.雷达波频率 0.3-2.0GHz,调节等离子体参数，发生共振大量吸收. 第2页，共 19页 1）塔高类似避雷针 2）亚热带高温多雷雨气侯； 重要价值：模仿制造出千年不锈产品；表面氮化物； 印度古塔不锈蚀原因推测？ 有学者认为：印度亚热带气候；空气中含氮气，渗入塔表面形成氮化物；本人怀疑？高温？ 本人推测：可能与等离子体有关；依据？ 第2页，共 19页 推测：塔周围大量闪电，使塔周围空气电离形成含N等离子体；低温下可以渗入，反复作用形成氮化物 3）美国科学杂志：美国 2500万次/年；气温升高闪电增加 印度古塔不锈蚀原因推测？ 温度对闪电影响规律:气温升高1度 闪电增加12%；闪电使大气中N、 O 增加 4) 近年发现450°以下氮化抗腐蚀性能优异； 低温氮化可以获得Fe2N相； 第2页，共 19页 印度古塔不锈蚀原因推测？ 如何验证推测？课题研究？ 2）锯一小块避雷针材料，金相分析、结构分析 试验验证方案：1）成都2号桥建立的电视塔上,观察上面避雷针是否不锈？或者或者交大高楼避雷针？ 推论：氮化层中一定含氧；（作为设计高防腐蚀思路） 第2页，共 19页 如何解决？利用真空技术+等离子体 PCVD致命问题—- 污染 等离子体技术解决TCVD沉积温度高问题，但不能解决污染问题； PCVD技术也考虑污染问题，解决方案“加冷井”（画图）气体HCl经过液氮冷井后吸附，沉积成固体膜用水冲掉；吸附不完全、冲水拍到水沟中仍然污染： 第2页，共 19页 4.4 真空获得与特点简介 旋片在转子槽中自由转动 1）真空室与进气口连接，旋片转动容积增大（状态方程分析进气口压力一定.质量一定） 2）容积增大压力低于真空室压力，气体被抽入 3）旋片转过抽气口气体封闭在2空间 4）在3空间容积不断减少，压力高气体排出 第2页，共 19页 真空的特点 3.获得干净表面（计算数据） 4.利用真空技术可以彻底解决污染问题 1.气体分子的平均自由程很长； 平均自由程—每两次碰撞间分子自由运动距离（计算公式分析） 2.真空条件下金属材料易于以气体形式挥发？物理化学公式分析 1大气压下洁净表面被单分子层气体覆盖时间 3.5×10-9S；在10-8Pa 污染时间2.8h 第2页，共 19页 （一）真空蒸发镀膜 4.5 PVD 物理气相沉积技术 设计思想：利用固体材料蒸发、溅射等现象在真空、等离子体环境下使气化的固体材料直接在样品表面沉积成膜