3电磁波测距2试卷.ppt

几何量电子传感测量 干涉法测距 1.激光干涉测量原理 激光输出可被视为正弦光波。 从激光头射出的光波有三个关键特性： 波长精确已知，能够实现精确测量 波长很短，能够实现精密测量或高分辨率测量 所有光波均为同相，能够实现干涉条纹 激光干涉仪是一种所谓“增量法”测长的仪器， 它是把目标反射镜与被测对象固联，参考反射镜固定不动， 当目标反射镜随被测对象移动时，两路光束的光程差即发生变化，干涉条纹也将发生明暗交替变化。 若用光电探测器接收，当被测对象移动一定距离时，条纹亮暗交替变化一次．光电探测器输出信号将变化一个周期，记录下信号变化的周期数，便确定了被测长度。 氦氖激光管 ? LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的缩写，意为通过受激发射线的放射达到光的放大，即激光 大多数现代位移干涉仪都使用氦氖 (HeNe) 激光管。这些激光管具有633纳米 (nm) 的波长输出 当高压连接在阳极和阴极之间时，混合气体被激发，形成激光光束 当激光光束在两个反射镜之间来回共振时激光光强被放大 一些光透射出阳极反射镜，成为输出激光光束 迈克尔逊干涉仪 光程差每变化一个波长，干涉条纹就明暗交替变化一次。 激光外差干涉测长技术 直流干涉仪：前置放大器为直流放大器。动镜从静止→运动→静止；干涉条纹变化频率从0 →最大值→0；光强转化的直流信号的频率变化范围也从0开始，需用直流放大器。 缺点：外界环境干扰能力差，只能在恒温防震条件下使用。 外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 载波信号产生方法：使参与干涉的两束光产生一个频率差，这样的两束光干涉会产生“光学拍”现象，转化为电信号得到差频信号。（光外差干涉）。 双频激光干涉仪 激光光束包含两种正交模式（在上图中分别用红色和蓝色表示） 这两种模式具有相近的频率（它们相差2 ppm）但处于垂直极化状态 两种模式的强度用光敏二极管测量，通过加热器控制激光管长度来实现平衡 ? 这使激光稳频精度保持在± 0.05 ppm以内 ? 激光实现稳定输出后，即可用于进行干涉测量 激光头发出的光被分光镜 (A) 分成两束光 大约一半激光被射到固定角锥反射镜 (B) 上，形成参考光束。另一半激光射到移动角锥反射镜 (C) 上，形成测量光束。 如果测量光路长度改变（角锥反射镜C移动），干涉光束的相对相位将改变 由此产生的相长干涉和相消干涉的循环将导致叠加光束强度的明暗周期变化 角锥反射镜每移动316 nm（因为此移动会造成633 nm的光路长度变化），就会出现一个光强变化循环 通过计算这些循环来测量移动 通过在这些循环之间进行相位细分，实现更高分辨率 (1 nm) 的测量。 从激光头射出的激光光束 (1) 具有二种频率F1和F2，当此光束到达偏振分光镜时，F1和F2被分成两束光。 反射光束 (2) 和透射光束 (3) 。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。 如果两光程差不变化， 探测器将观察到一个稳定的拍频信号，频率为F1-F2，与机内的参考拍频信号维持一个恒定的相位差。 如果两光程差发生变化， 探测器将观察到相位变化的拍频信号，通过与机内的参考拍频信号的相位差的跟踪测量，即可计算光程差的变化。 光程差每变化半个激光波长（312nm），拍频信号的相位即变化360度，通过对相位进行细分测量可实现nm级的测量分辨力。 激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿（误差改正）。 误差来源 气象参数导致的误差 激光波长的真值不实 伺服系统的误差（如测量点定位误差等） 2.变频式干涉测距 激光干涉测距中激光波长是固定的，加之干涉长度的原因和跟踪测量方法的原因，不能实现野外大跨距的测量。通常只用于室内环境下的小范围精密测量。 为实现野外大跨距的精密测量，人们发明了变频式干涉测距。 其典型代表仪器是ME3000、ME5000光电测距仪。 通过改变光波的调制频率，搜索反射光与参考光干涉后的波节点，测量波节点的调制频率。 变频干涉测距的基本原理 发射激光受高频调制，调制频率可变。 发射激光被分为2路， 一路由内光路直接到光电接收电路， 另外一路通过外光路（待测距离）到达光电接收电路， 二路光在接收电路迭加形成干涉。 变频法解决多值性的方法 相位法测距的基本公式为: D = u( N 十△N ) (1) 式中, D 为欲测距离, u 为调制波的半波长( 即u =λ/